[0001] Die Erfindung bezieht sich auf einen Ultraschall-Sensor gemäß dem Oberbegriff des
Hauptanspruches.
[0002] Bei der Bestimmung der Eigenschaften eines in einem schalltragenden Medium, beispielsweise
Wasser, herrschenden Ultraschallfeldes werden sogenannte Membran- oder Miniatur-Hydrophone
verwendet. Die dreidimensionale Verteilung der Schalldruckamplitude des Ultraschallfeldes
wird dadurch ermittelt, daß an jeweils verschiedenen Orten in einer Meßwanne herrschende
Schalldruck mit einem derartigen Hydrophon gemessen wird.
[0003] In "Ultrasonics, Mai 1980, Seiten 123 bis 126" ist beispielsweise ein Membran-Hydrophon
offenbart, bei dem eine Folie aus Polyvinylidenfluorid PVDF mit einer Dicke von 25
µm zwischen zwei als Stützkörper dienende Metallringe aufgespannt ist. Dadurch wird
eine Membran mit einem Innendurchmesser von etwa 100 mm gebildet. Die Oberflächen
der Membran sind in einem kleinen zentralen Bereich mit einander gegenüberliegenden
kreisscheibenförmigen Elektroden versehen, deren Durchmesser beispielswise 4 mm beträgt.
Zwischen diesen Elektroden befindet sich der polarisierte, piezoelektrisch aktive
Bereich der Membran. Von den kreisscheibenförmigen Elektroden führen als Metallfilme
auf die Oberflächen der Membran aufgebrachte Anschlußleiter zum Rand der Membran
und werden dort mit Hilfe eines Leitklebers mit einem Koaxialkabel kontaktiert.
[0004] Mit diesem bekannten Hydrophon lassen sich jedoch keine Ultraschall-Stoßwellen,
deren Druckamplituden im Bereich von 10⁸ Pa liegen, messen. Derartige Stoßwellen mit
sehr steilen Puls flanken, deren Anstiegszeiten 1 µsec unterschreiten, führen zu
einer durch Kavitationseffekte verursachten mechanischen Zerstörung der auf die PVDF-Schicht
aufgebrachten metallischen Elektroden. Solche Stoßwellen treten beispielsweise im
Fokusbereich von Lithotriptern auf, bei denen eine fokussierte Ultraschall-Stoßwelle
zur Zerstörung von Konkrementen, beispielsweise Nierensteine in der Niere eines Patienten,
verwendet wird. Sowohl bei der Entwicklung als auch bei der routinemäßigen Überwachung
derartiger Geräte ist es erforderlich, die Eigenschaften der Stoßwelle im Fokusbereich
zu bestimmen.
[0005] Aus der EP-A2-O 227 985 ist ein Ultraschall-Sensor bekannt, bei dem eine in ihrem
Randbereich an einem Stützkörper befestigte Polymerfolie in einem Teilbereich piezoelektrisch
aktiviert und mit Elektroden elektrisch gekoppelt ist, die räumlich getrennt vom piezoelektrisch
aktiven Bereich anzuordnen sind. Die im piezoelektrisch aktiven Bereich der Polymerfolie
durch eine Ultraschallwelle verursachten Oberflächenladungsschwingungen werden über
das die Polymerfolie umgebende schalltragende Medium zu den außerhalb des dem piezoelektrisch
aktiven Bereich der Polymerfolie zugeordneten Oberflächenbereiches der Polymerfolie
angeordneten Elektroden elektrisch gekoppelt. Der piezoelektrisch aktive zentrale
Bereich der Polymerfolie kann somit im Fokusbereich einer fokussierten Ultraschall-Stoßwelle
angeordnet sein, da im zentralen Bereich der Polymerfolie keine mechanisch instabile
elektrisch leitfähige Schicht vorhanden ist.
[0006] Durch die Verwendung eines piezoelektrischen Polymers mit einer gegenüber piezokeramischen
Werkstoffen relativ geringen Dielektrizitätskonstante ist eine rein kapazitive Kopplung
ohne hohe Signalverluste möglich. Die Elektroden können dementsprechend vom piezoelektrisch
aktiven Bereich der Polymerfolie räumlich getrennt sowohl auf der Folie selbst als
auch außerhalb der Folie, beispielsweise am Stützkörper der Folie angeordnet sein.
[0007] Bei dieser bekannten Vorrichtung ist die piezoelektrische Polymerfolie zwischen
zwei ringförmige Stützkörper straff eingespannt, so daß ihre Flachseiten senkrecht
zur Mittelachse der Stützkörper orientiert sind. Die Einfallsrichtung des zu messenden
Ultraschalls ist also im wesentlichen parallel zu dieser Mittelachse. Um störende
Beugungseffekte an der von der Polymerfolie abgewandten Innenkante des dem Ultraschall-Sensor
zugeordneten Stützkörpers zu vermeiden, muß der Durchmesser der Polymerfolie sehr
groß sein. Bei dem bekannten Ultraschall-Sensor ist somit eine Miniaturisierung stets
mit einer Verschlechterung der Empfangseigenschaften verbunden.
[0008] Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, einen Ultraschall-Sensor anzugeben,
dessen Empfangseigenschaften auch in einer miniaturisierten Ausführungsform durch
Beugungseffekte praktisch nicht beeinflußt werden, und der sowohl mechanisch stabil
als auch einfach zu handhaben ist.
[0009] Die genannte Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst mit den kennzeichnen den Merkmalen
des Hauptanspruches. Da die Polymerfolie mit ihren Flachseiten parallel zur Mittelachse
des Hohlzylinders angeordnet und somit zur Messung von Ultraschallwellen vorgesehen
ist, die sich senkrecht zu dieser Mittelachse ausbreiten, hat die Länge des Hohlzylinders
keinen wesentlichen Einfluß auf das am Ort der Polymerfolie herrschende Ultraschallfeld.
Somit kann auch bei geringem Durchmesser des Hohlzylinders durch eine entsprechend
lange Bauweise eine verbesserte Handhabbarkeit und mechanische Stabilität des Ultraschall-Sensors
erreicht werden.
[0010] Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich gemäß der Unteransprüche
2 bis 6.
[0011] Zur weiteren Erläuterung der Erfindung wird auf die Zeichnung verwiesen, in deren
Figur 1 ein erfindungsgemäßer Ultraschall-Sensor in einem Längsschnitt veranschaulicht
ist.
Figur 2 zeigt den Ultraschall-Sensor in einem Querschnitt und in
Figur 3 ist eine Elektrode zum kapazitiven Aufnehmen des Meßsignals veranschaulicht.
Figuren 4 und 5 zeigen eine besonders vorteilhafte Anordnung der Elektroden in einem
erfindungsgemäßen Ultraschall-Sensor jeweils in einem Querschnitt und in
Figur 6 ist eine besonders vorteilhafte Ausführungsform des Ultraschall-Sensors in
einem Längsschnitt veranschaulicht.
[0012] Entsprechend Figur 1 ist eine piezoelektrische Polymerfolie 2 in einem Hohlzylinder
12, der als Haltevorrichtung dient mit ihren Flachseiten parallel zur Mittelachse
11 des Hohlzylinders 12 angeordnet. Die piezoelektrische Polymerfolie 2 besteht in
einer bevorzugten Ausführungsform aus Polyvinylidenfluorid PVDF und ist nur in einem
kleinen zentralen Bereich 21 piezoelektrisch aktiviert. Dieser piezoelektrisch aktivierte
Bereich 21 bildet beispielsweise eine in Dickenrichtung polarisierte Kreisscheibe
mit einem Durchmesser d der kleiner als 2 mm, insbesondere kleiner als 1 mm ist. Die
Dicke des piezoelektrisch aktivierten Bereiches 21 entspricht der Dicke der Folie
2 und beträgt zwischen 10 µm und 100 µm. Der Außendurchmesser des Hohlzylinders 12
beträgt beispielsweise bei einer Wandstärke von etwa 0,5 mm zwischen 10 mm und 20
mm. Die Länge des Hohlzylinders beträgt in einer bevorzugten Ausführungsform etwa
100 mm.
[0013] Entsprechend Figur 2 ist den Flachseiten des piezoelektrisch aktiven Bereiches 21
jeweils eine ebene Elektrode 6 zuge ordnet, die parallel zu diesen Flachseiten verläuft.
Diese Elektroden 6 sind jeweils mittels einer Halterung 62 in der Wandung des Hohlzylinders
12 befestigt und jeweils mit einem Anschlußleiter 65 versehen. Beim Eintreffen eines
Stoßwellenimpulses auf den aktiven Bereich 21 werden an der Oberfläche dieses Bereiches
21 Wechselladungen erzeugt. Dieses Wechselladungssignal wird kapazitiv durch das zwischen
den Elektroden 6 und dem Teilbereich 21 befindliche schalltragende Medium, beispielsweise
Wasser oder Öl zu den beiden Elektroden 6 gekoppelt.
[0014] Der signalaufnehmende Teil dieser Elektroden 6 kann beispielsweise gemäß Figur 3
aus einer flachen Metallfolie 61 bestehen, die auf einer Halterung 62 befestigt ist.
Die Metallfolie 61 besteht in einer bevorzugten Ausführungsform aus Edelstahl und
hat eine Dicke von annähernd 20 µm. Anstelle einer Metallfolie 61 kann auch ein feines
Metallgitter vorgesehen sein. Zur Verringerung von parasitären Kapazitäten ist unter
Umständen vorteilhaft die Halterungen 62 der Elektroden 6 zueinander um 180° versetzt
anzuordnen.
[0015] Entsprechend Figur 4 können auch Elektroden 64 vorgesehen sein, die mit ihren parallel
zur Mittelachse 11 verlaufenden gegenüberliegenden Seitenkanten in entsprechenden
Aussparungen des Hohlzylinders 12 eingeklebt sind.
[0016] Gemäß Figur 5 können die Elektroden 6 auch die Gestalt eines Teils eines Zylindermantels
haben und beispielsweise auf der Innenfläche des Hohlzylinders 12 als metallische
Schicht 63 angeordnet sein.
[0017] In der besonders vorteilhaften Ausführungsform gemäß Figur 6 ist der Hohlzylinder
12 mit Deckplatten 14, die jeweils an seinen Stirnflächen angeordnet sind, dicht verschlossen.
[0018] Das Innere des Hohlzylinders ist mit einer schalltragenden Flüssigkeit 13, beispielsweise
hochreines Wasser mit einer Leitfähigkeit kleiner als 10 µS/cm, oder Silikonöl gefüllt.
In einer besonders bevorzugten Ausführungsform besteht der Hohlzylinder aus Polymethylpenten
PMP. Da die akustische Impedanz von Polymethylpenten PMP der akustischen Impedanz
von Wasser weitgehend angepaßt ist, spielen die am Hohlzylinder 12 auftretenden Impedanzsprünge
praktisch keine Rolle und führen nur zu einer vernachlässigbaren Verfälschung des
am Meßort herrschenden Ultraschallfeldes. Da sich im Innern des Hohlzylinders 12
stets die gleiche schalltragende Flüssigkeit 13 befindet, ist eine reproduzierbare
kapazitive Kopplung zwischen dem piezoelektrisch aktiven Teilbereich 21 und den Elektroden
6 gewährleistet. Ein Ultraschall-Sensor mit diesen Merkmalen ist deshalb insbesondere
zur Absolutmessung von Ultraschallfeldern mit hoher Druckamplitude geeignet.
1. Ultraschall-Sensor mit folgenden Merkmalen
a) einer freitragend in einer Haltevorrichtung befestigten Polymerfolie (2), die
b) wenigstens in einem Bereich (21) piezoelektrisch aktiviert und mit Elektroden (6)
gekoppelt ist, die
c) räumlich getrennt vom piezoelektrisch aktivierten Bereich (21) angeordnet sind,
gekennzeichnet durch folgendes Merkmal:
d) die Polymerfolie (2) ist in einem Hohlzylinder (12) aus Kunststoff mit ihren Flachseiten
parallel zur Mittelachse (11) dieses Hohlzylinders (12) angeordnet.
2. Ultraschall-Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Polymerfolie (2) aus Polyvinylidenfluorid PVDF vorgesehen ist.
3. Ultraschall-Sensor nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß jeweils einer Flachseite der Polymerfolie (2) als Elektrode (6) eine ebene, im
Inneren des Hohlzylinders (12) angeordnete metallische Folie (61) zugeordnet ist.
4. Ultraschall-Sensor nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Elektroden (6) metallische Schichten (63) auf der Innenwand des Hohlzylinders
(l2) vorgesehen sind.
5. Ultraschall-Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Hohlzylinder (12) aus Polymethylpenten PMP besteht.
6. Ultraschall-Sensor nach Anspruch 1, dadurch ge kennzeichnet, daß der Hohlzylinder (12) an seinen Stirnflächen verschlossen und mit einer schalltragenden
Flüssigkeit (13) gefüllt ist.