(19)
(11) EP 0 336 086 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
07.08.1991  Patentblatt  1991/32

(43) Veröffentlichungstag A2:
11.10.1989  Patentblatt  1989/41

(21) Anmeldenummer: 89102836.7

(22) Anmeldetag:  18.02.1989
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)4: B06B 1/00, G10K 11/34, G10K 13/00
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE FR GB LI

(30) Priorität: 31.03.1988 DE 3811052

(71) Anmelder: Deutsche Aerospace AG
D-81663 München (DE)

(72) Erfinder:
  • Kroy, Walter, Dr.
    D-8012 Ottobrunn (DE)
  • Seidel, Helmut, Dr.
    D-8130 Starnberg (DE)
  • Bschorr, Oskar, Dr.
    D-8000 München (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
   
       


    (54) Mikromechanischer Schallgeber


    (57) Es wird ein Schallerzeuger beschrieben, bei dem eine Anzahl von Mikro-­Membranen in ein Substrat in vorbestimmter Anordnung direkt einzeln, parallel oder seriell ansteuerbar sind.
    Mittels der Einstellung einer bevorzugten Abstrahlrichtung der Schall­signale wird die Richtcharakteristik bestimmt. Bevorzugte Anwendungen, Herstellverfahren und Ausgangsmaterialien sind ebenso angegeben, wie einige Ausbildungen und Abwandlungen einschließlich Integrationsmöglich­keiten.







    Recherchenbericht