....CHDE....FRGB..ITLI..NL........................R0342515EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNGA319900321EP89108448.519890511dedede381729019880520DE19900321199012198911231989474 4F 04D 19/04 A 4F 04D 29/06 B 4F 16N 29/02 BdeTurbomolekularpumpeenTurbomolecular pumpfrPompe turbomoléculaireLEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT0090687088.011 EUBonner Strasse 498D-50968 KölnDESchneider, HelmutFrankengraben 20D-5352 ZülpichDEDeters, Ludger, Dr.Schillerstrasse 31D-5630 Remscheid 11DELeineweber, Jürgen, Dipl.-Phys.00007501Aggerstrasse 2450859 KölnDECHDEFRGBITLINL19900321199012

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Betrieb einer Turbomolekularpumpe mit einer Welle (6), mit ölgeschmierten Wälzlagern (11, 12) für diese Welle, mit einem Ölkreislauf und mit einer in den Ölkreislauf eingebauten Ölförderpumpe (14), die von einem Elektromotor angetrieben wird; eine dosierte Ölzufuhr zu den Lagern (11, 12) der Welle (6) wird dadurch erreicht, daß die Ölförderpumpe (14) zyklisch ein- und abgeschaltet wird.