(19)
(11) EP 0 346 819 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
27.11.1991  Patentblatt  1991/48

(43) Veröffentlichungstag A2:
20.12.1989  Patentblatt  1989/51

(21) Anmeldenummer: 89110657.7

(22) Anmeldetag:  13.06.1989
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)4: G01B 11/30, B24B 13/015
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE FR GB LI

(30) Priorität: 14.06.1988 DE 3820225

(71) Anmelder: HPO HANSEATISCHE PRÄZISIONS- UND ORBITTECHNIK GMBH i. K.
D-28359 Bremen (DE)

(72) Erfinder:
  • Netzel, Karl-Hermann, Dipl.-Ing.
    D-2800 Bremen 33 (DE)
  • Preuss, Werner, Dr.
    D-2800 Bremen 44 (DE)
  • Fetting, Rudolf, Dipl.-Ing.
    D-2820 Bremen 77 (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
   
       


    (54) Verfahren und Vorrichtung zur berührungslosen Vermessung und ggf. abtragenden Bearbeitung von Oberflächen


    (57) Die Erfindung betrifft Verfahren zur berührungslosen Vermessung und ggf. abtragenden Bearbeitung von Oberflächen, insbesondere von großflächigen Spiegeln oder dergleichen, bei dem zur Ermittlung von Konturabweichungen der Oberfläche die Differenz zwischen interferometrisch erfaßten Oberflächenkontur-Istwerten und vorgewählten Oberflächenkontur-Sollwerten bestimmt wird. Erfindungsgemäß wird eine Bezugskontur wenigstens eines Referenzelements, deren Erstreckung einem Vermessungs-und ggf. Bearbeitungsbereich der Oberfläche im wesentlichen entspricht, interferometrisch bezüglich eines Normals vermessen, dessen Geometrie innerhalb der zulässigen Konturtoleranz der Oberfläche bekannt ist. Die zu vermessende Oberfläche wird in eine definierte räumliche Lage bezüglich des Referenzelementes gebracht, die Beabstandung der Bezugskontur vom Vermessungs- bzw. Bearbeitungsbereich der Oberfläche wird inkrementell interferometrisch erfaßt und die jeweilige Differenz zwischen Ist- und Sollwert wird bestimmt. Für die Bearbeitung wird ggf. ein Materialabtrag von der Oberfläche vorgenommen, dessen Ausmaß die zulässige Konturtoleranz nicht übersteigt.
    Außerdem betrifft die Erfindung Vorrichtungen zur Durchführung dieser Verfahren.






    Recherchenbericht