MESSVORICHTUNG ZUR BESTIMMUNG DER TEMPERATUR VON HALBLEITERKÖRPERN, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DER MESSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DER TEMPERATUR VON HALBLEITERKÖRPERN WÄHREND TEMPERPROZESSEN - Patent 0359748

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EP 0 359 748 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	28.03.1990 Patentblatt 1990/13

(21)	Anmeldenummer: 88903190.0

(22)	Anmeldetag: 27.04.1988

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Internationale Patentklassifikation (IPC):

G01K 1/ 14^{( . )}
G01K 13/ 00^{( . )}
H01L 21/ 324^{( . )}

G01K 7/ 02^{( . )}
H01L 21/ 205^{( . )}
H01L 21/ 66^{( . )}

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/DE1988/000249

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 1988/008965 (17.11.1988 Gazette 1988/25)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	DE FR GB

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Priorität:

07.05.1987 DE 19873715231

(71)	Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
	D-80333 München (DE)

(72)	Erfinder:
	GISDAKIS, Spyridon D-8000 München 83 (DE) TEWS, Helmut D-8025 Unterhaching (DE) ZWICKNAGL, Peter D-7000 Stuttgart 80 (DE)

(54)	MESSVORICHTUNG ZUR BESTIMMUNG DER TEMPERATUR VON HALBLEITERKÖRPERN, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DER MESSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DER TEMPERATUR VON HALBLEITERKÖRPERN WÄHREND TEMPERPROZESSEN