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(11) | EP 0 362 291 B1 |
| (12) | EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT |
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PIEZOELEKTRISCHER TINTENDRUCKKOPF UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG PIEZOELECTRIC INK PRINTING HEAD AND PROCESS FOR ITS PRODUCTION TETE PIEZOELECTRIQUE D'IMPRESSION A L'ENCRE ET SON PROCEDE DE FABRICATION |
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| Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen). |
[0001] Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Tintendruckkopf mit einer Düsenfront mit mindestens einer Düse, mindestens einem tinteführenden Tintenkanal, der in die Düse mündet, mindestens einem einen Graben aufweisenden piezoelektrischen Antriebselement, das so auf die Tinte in dem Tintenkanal einwirkt, daß es bei piezoelektrischer Anregung einen tropfenförmigen Ausstoß von Tinte bewirkt, und mit jeweils zwei Elektroden zur Ansteuerung eines Antriebselementes.
[0002] Ein Tintendruckkopf mit tinteführenden Kanälen, auf die piezoelektrische Antriebselemente einwirken, ist aus der deutschen Patentschrift 2 543 451 bekannt. Dabei wird jeweils ein Abschnitt der Kanäle von einem piezoelektrischen Antriebselement zylindrisch umfaßt. Bei diesem Tintendruckkopf ist die Länge der von den Antriebselementen nicht umfaßten, zwischen den Austrittsöffnungen der Tintenkanäle und den Antriebselementen liegenden Abschnitte der Tintenkanäle so bemessen, daß die Tintenkanäle mit den piezoelektrischen Antriebselementen von der Abdruckstelle her strahlenförmig knickfrei wegfluchtend verlaufend anordbar sind. Dieser Tintendruckkopf hat also im Bereich der piezoelektrischen Antriebselemente wesentlich größere Abmessungen als es dem Druckraster entspricht. Für einen modularen Aufbau einer Schreibeinrichtung mit mehreren Tintendruckköpfen ist dieser Tintendruckkopf daher weniger geeignet. Eine vollständige Druckzeile kann nur realisiert werden, wenn der Tintendruckkopf in Zeilenrichtung bewegt wird. Damit ist aber die Druckgeschwindigkeit und die Auflösung begrenzt.
[0003] Aus der GB-A-2 098 134 ist ein Tintendruckkopf bekannt, dessen piezoelektische Antriebselemente zwei Platten aus einem piezoelektrischen, polarisierten Material umfassen. Zumindest eine Platte enthält U-förmige Vertiefungen, die durch Aufkleben der zweiten Platte unter Bildung von Aufnahmeräumen abgedeckt werden. In die Aufnahmeräume ist jeweils ein Röhrchen eingeklebt, das als Tintenkanal dient und in einer Düse mündet. Elektrisch leitende Schichten an den jeweiligen Außenseiten der Platten und an den den jeweiligen Aufnahmeraum begrenzenden Innenseiten der Platten dienen als Ansteuerelektroden. Die piezoelektrischen Antriebselemente dieses bekannten Druckkopfes weisen damit verhältnismäßig viele einzelne Bestandteile auf.
[0004] Ein aus der DE-A-36 30 206 bekannter Tintendruckkopf der eingangs genannten Art weist eine Düsenfront mit mindestens einer Düse und mindestens einen tinteführenden, in die Düse mündenden Kanal auf. Der Kanal ist von einem rillenartigen Graben in einer piezoelektrischen Platte und von einer auf der piezoelektrischen Platte durch Verklebung oder Verschweißung befestigten Deckplatte bebildet. Jedem Graben ist ein piezoelektrisches Antriebselement zugeordnet, das aus zwei Elektroden zur Ansteuerung und dem zwischen dem Grabenboden und der Außenseite der piezoelektrischen Platte befindlichen piezoelektrischen Material gebildet ist. Bei Anregung des Antriebselements dehnt sich dieses unter Volumenverminderung des tinteführenden Kanals aus und bewirkt damit einen tropfenförmigen Ausstoß von Tinte. Dieser bekannter Tintendruckkopf weist eine vergleichsweise aufwendig gestaltete Struktur der piezeoelektrischen Platte auf. Er umfaßt mit der Deckplatte ein zusätzliches Bauteil, wodurch insgesamt eine Verringerung der Baugröße des bekannten Tintendruckkopfes erschwert ist. Der DE-A-36 30 206 sind keinerlei Hinweise über die praktische Herstellung des bekannten Tintendruckkopfes entnehmbar.
[0005] Aufgabe der Erfindung ist es, einen piezoelektrischen Tintendruckkopf und ein Verfahren zu seiner Herstellung anzugeben, der sehr kleine Abmessungen aufweist und Druckpunkte mit sehr hoher Druckpunktdichte liefert.
[0006] Diese Aufgabe wird bei einem piezoelektrischen Tintendruckkopf der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß
a1) das Antriebselement ein Piezokeramikteil aufweist, in dem der Graben vorgesehen ist,
a2) die erste Elektrode auf dem Piezokeramikteil so angeordnet ist, daß sie den Graben zur Bildung des Tintenkanals verschließt,
a3) die zweite Elektrode isoliert zur ersten Elektrode auf dem Piezokeramikteil angeordnet ist und daß
b) die Düsenfront direkt mit den Piezokeramikteilen verbunden ist.
[0007] Eine besonders vorteilhafte Ausführungsform ist dadurch gekennzeichnet, daß
a) die Kanäle parallel zueinander verlaufen,
b) die Antriebselemente einzeln ansteuerbar sind,
c) die Gräben mit einer gemeinsamen ersten Elektrode zu Kanälen geschlossen sind
d) die Piezokeramikteile mindestens auf der Länge der elektrisch kontaktierten Bereiche voneinander separiert sind und
e) jeder Kanal in eine Düse mündet.
[0008] Ein Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Tintendruckkopfes besteht darin, daß
a) in einer polarisierten Piezokeramikscheibe mindestens ein Graben erzeugt wird,
b) die gemeinsame erste Elektrode auf der Grabenseite der Piezokeramikscheibe aufgebracht wird, so daß die Gräben geschlossen werden und damit Kanäle entstehen,
c) die zweiten Elektroden auf der den Gräben gegenüberliegenden Oberfläche der Piezokeramikscheibe aufgebracht werden, so daß sie jeweils den Kanälen gegenüberliegen und einander nicht berühren,
d) die Antriebselemente durch Zerteilen der Piezokeramikscheibe zwischen den zweiten Elektroden mindestens auf der Länge der elektrisch kontaktierten Bereiche voneinander separiert werden und
e) auf der Frontseite der Piezokeramikscheibe (41) die mit den Kanälen (5) verbundene Düsenfront (21) hergestellt wird.
[0009] Weitere Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen, so wie nachfolgend aus der anhand eines Ausführungsbeispiels mit FIG 1 - 3 gegebenen Beschreibung hervor.
[0010] FIG 1 zeigt in schematischer Darstellung einen Schnitt durch einen piezoelektrischen Tintendruckkopf.
[0012] FIG 3 zeigt schematisch den Verlauf der Herstellung des piezoelektrischen Tintendruckkopfs anhand aufeinanderfolgender Verfahrensschritte mit den Bezugszeichen 301, 303 bis 309, 303a, 303b, 307b bis 309b, 309a und 311a.
[0013] Bei den Verfahrensschritten, deren Bezugszeichen mit a oder b versehen sind, ist der piezoelektrische Tintendruckkopf in Draufsicht gezeigt.
[0014] FIG 1: Auf einer Trägerschicht 6 befinden sich mehrere parallel nebeneinander liegende Antriebselemente 1. Jedes Antriebselement 1 besteht aus einem Piezokeramikteil 2, einer zweiten Elektrode 4 und einem Teil einer gemeinsamen ersten Elektrode 3. Die Piezokeramikteile 2 bilden zusammen mit der gemeinsamen ersten Elektrode 3 Kanäle 5. Dabei schließt die gemeinsame erste Elektrode 3 die Gräben 44, die sich in den Piezokeramikteilen 2 befinden zu Kanälen 5 ab.
[0015] FIG 2: An der Stirnseite des piezoelektrischen Tintendruckkopfs befindet sich die Düsenfront 21 mit Düsen 22. Die Düsenfront 21 ist direkt mit den Piezokeramiktellen 2 verbunden und jeder Kanal 5 mündet in einer Düse 22. Die Piezokeramikteile 2 berühren sich auf der Länge der elektrisch kontaktierten Bereiche nicht. Die Düsenfront 22 kann aus Metall oder Piezokeramik bestehen. Die Düsen 22 sind zur Tröpfchenausbildung beim Betrieb des piezoelektrischen Tintendruckkopfs wichtig.
[0016] FIG 3: Verfahrensschnitt 301: Eine Piezokeramikscheibe 41 mit einer Dicke von 100 bis 200 µm wird beidseitig mit einer Metallschicht 42 und 43 versehen. Die Piezokeramikscheibe 41 ist aus einer Piezokeramikmasse hergestellt, die eine definiert hohe Enddichte, z. B. 99%, erreicht. Sie kann aus einer Piezokeramikfolie durch Schneiden oder aus einem Keramikblock durch Sägen und Schleifen hergestellt sein. Nach dem Aufbringen der Metallschichten 42 und 43 wird die Piezokeramikscheibe 41 durch Anlegen einer Spannung zwischen den Metallschichten 42 und 43, mit einer für die Keramik gebräuchlichen Feldstärke bei einer erhöhten Temperatur von ca. 100-150°C polarisiert.
[0017] Verfahrensschritt 303: Durch Laserätzen werden parallel nebeneinander liegende Gräben 44 auf der Seite der unteren Metallschicht 43 erzeugt.
[0018] Verfahrensschritt 303b: Wenn die Düsenfront 21 aus Metall hergestellt werden soll, werden die Gräben 44 auf der Piezokeramikscheibe 41 durchgehend erzeugt. Durchgehende Gräben 44 können auch mit den bekannten Sägetechniken hergestellt werden.
[0019] Verfahrensschritt 303a: Bei Herstellung der Gräben 44 durch Laserätzen ist es möglich die Gräben 44 sackprofilartig zu erzeugen. Der nichtstrukturierte Teil der Plezokeramikscheibe 41 kann hier zur Herstellung der Düsenfront 21 verwendet werden. Dabei ist es erforderlich, daß die obere Metallschicht 42, aus der im weiteren Herstellungsverlauf die zweiten Elektroden 4 entstehen, nur in dem Bereich der Piezokeramikscheibe 41 aufgebracht wird, in dem Gräben 44 hergestellt werden.
[0021] Verfahrensschritt 305: Die mit Kunststoff 45 vergossene Seite der Piezokeramikscheibe 41 wird so mechanisch bearbeitet, z. B. Schleifen, Läppen, daß die Piezokeramik freigelegt ist.
[0022] Verfahrensschritt 306: Die gemeinsame erste Elektrode 3 wird durch Aufsputtern einer Metallschicht aufgebracht.
[0023] Verfahrensschritt 307: Auf die gemeinsame erste Elektrode 3 kann an dieser Stelle des Herstellungsverfahrens eine Trägerschicht 6 galvanisch aufgebracht werden. Die Trägerschicht 6 kann aus einer 50 bis 100 µm dicken Metallschicht bestehen.
[0024] Verfahrensschritt 308: Der Kunststoff 45 wird aus den Kanälen 5 entfernt, z.B. ausgebrannt. Die Metallschicht 42 auf der Oberseite der Piezokeramikscheibe 41 wird durch Ätz- oder , Abhebeverfahren so strukturiert, daß daraus die zweiten Elektroden 4 entstehen, die mittig und parallel über den Kanälen 5 verlaufen und einander nicht berühren.
Eine weitere Möglichkeit zur Strukturierung der Metallschicht 42 für das Erzeugen der zweiten Elektroden 4 ist das Laserätzen Dabei kann das Strukturieren der Metallschicht 42 zusammen mit dem Zerteilen der Piezokeramikteile 2 erfolgen, das im nächsten Verfahrensschritt (309) beschrieben ist.
[0025] Verfahrensschritt 309: Die Piezokeramiktelle 2 werden durch Laserätzen so voneinander getrennt, daß sie sich mindestens auf der Länge der elektrisch kontaktierten Bereiche nicht berühren, wobei keilförmige Furchen 48 aus der Plezokeramikscheibe 41 herausgeschnitten werden.
[0026] Verfahrensschritt 307b: Zur Herstellung einer Düsenfront 21 aus Metall wird nach dem Erzeugen der gemeinsamen ersten Elektrode 3 und vor dem Entfernen des Kunststoffs 45 aus den Kanälen 5 eine metallische Sputterschicht 46 an der Frontseite der Piezokeramikscheibe 41 aufgebracht.
[0027] Verfahrensschritt 308b: Auf die Sputterschicht 46 wird die metallische Düsenfront 21 galvanisch aufgebracht. Die Düsenfront 21 kann z. B. aus Nickel bestehen. Zweckmäßigerweise wird die Düsenfront 21 gleichzeitig mit der Trägerschicht 6 galvanisch aufgebracht.
[0028] Verfahrensschritt 309b: Die Düsen 22 werden so in die Düsenfront 21 gebohrt, daß sie mittig auf die Kanäle 5 stoßen.
[0029] Verfahrensschritt 309a: Bei der Herstellung der Düsenfront 21 aus Piezokeramik werden die Düsen durch Laserätzen hergestellt. Dazu wird die Piezokeramik an der Frontseite fein geschliffen und poliert.
[0030] Verfahrensschritt 311a: Durch Laserätzen werden die Düsen 22 so erzeugt, daß sie mittig auf die Kanäle 5 treffen.
[0031] Durch die Trennung der einzelnen Piezokeramikteile 2 voneinander ist ein übersprechen zwischen den einzelnen Antriebselementen 1 unterbunden. Dadurch wird das unerwünschte Nebensprechen, d. h. ein Ausstoß von Tintentröpfchen aus dem Kanal eines nicht angeregten Antriebselements, unterbunden. Die keilförmige Trennfuge 48 unterbindet das Auftreten von interferenzbildenden Schallwellen im Tintendruckkopf.
[0032] In der deutschen Patentanmeldung P 37 18 323 ist ein Verfahren beschrieben, mit dem die Bearbeitung von Keramikwerkstoffen ohne das Entstehen von Damageschichten mögllch ist. Dabei wird eine Laserstrahlung mit einer (Luft)wellenlänge kleiner als etwa 350nm verwendet, die Beaufschlagung mit Laserstrahlung nur Impulswelse durchgeführt und die Impulsdauer, die Pulswiederholungsrate und die Pulsenergie derart aufeinander abgestimmt bemessen, daß in dem bearbeiteten Werkstoff ein wesentlicher Wärmestau vermieden wird. Vorteilhaft ist der Einsatz eines Excimerlasers.
[0033] Durch Anwendung dieses Laserätzverfahrens beim Verfahren zur Herstellung des piezoelektrischen Tintendruckkopf kann das Erzeugen der Düsen, der Gräben und das Zerteilen der Piezokeramikscheibe sehr genau erfolgen, ohne daß störende Damageschichten an den Rändern der bearbeiteten Bereiche entstehen. Damit känn die Ausbeute bei der Herstellung und die Funktionsgenauigkeit der piezoelektrischen Tintendruckköpfe erhöht werden.
[0034] Als Elektrodenmaterial eignen sich besonders Verbindungen mit Chrom-Platin-Gold und Titan-Nickel-Gold. Für die galvanisch abgeschiedenen Schichten ist Nickel besonders geeignet.
[0035] Die Druckpunktdichte, die mit dem beschriebenen Tintendruckkopf erreicht werden kann, beträgt ca. 4 Punkte pro Millimeter. Der Tintendruckkopf ist für höchste Druckgeschwindigkeiten geeignet. Das Verfahren gestattet die Herstellung eines Tintendruckkopfes höchster Auflösung sozusagen in einem Stück, ohne daß aufwendige mechanische Bearbeitungs- und Verbindungsverfahren, z. B. Schweißen, notwendig sind.
[0036] Da die Bauhöhe dieses Tintendruckkopfs sehr gering ist, einschließlich einer möglichen Kunststoffbeschichtung kleiner als 0,3 mm, können mehrere Tintendruckköpfe leicht gestapelt und gemeinsam in ein Gehäuse eingebaut werden. Das Gehäuse kann dabei als Tintenkammer dienen. In dieser Weise können auch Tintendruckköpfe für eine ganze Druckzeile aufgebaut werden. Eine Verbindungstechnik für den Zusammenbau einzelner Druckköpfe ist das Kleben.
a1) das Antriebselement (1) ein Piezokeramikteil (2) aufweist, in dem der Graben (44) vorgesehen ist,
a2) die erste Elektrode (3) auf dem Piezokeramikteil (2) so angeordnet ist; daß sie den Graben (44) zur Bildung des Tintenkanals (5) verschließt,
a3) die zweite Elektrode (4) isoliert zur ersten Elektrode (3) auf dem Piezokeramikteil (2) angeordnet ist und daß
b) die Düsenfront (21) direkt mit den Piezokeramikteilen (2) verbunden ist.
a) die Kanäle (5) parallel zueinander verlaufen,
b) die Antriebselemente (1) einzeln ansteuerbar sind,
c) die Gräben (44) mit einer gemeinsamen ersten Eletrode (3) zu Kanälen (5) geschlossen sind und
d) die Piezokeramikteile (2) mindestens auf der Länge der elektrisch kontaktierten Bereiche voneinander separiert sind und
e) jeder Kanal (5) in eine Düse (22) mündet.
a) in einer polarisierten Piezokeramikscheibe (41) mindestens ein Graben (44) erzeugt wird,
b) die gemeinsame erste Elektrode (3) auf der Grabenseite der Piezokeramikscheibe (41) aufgebracht wird, so daß die Gräben (44) geschlossen werden und damit Kanäle (5) entstehen,
c) die zweiten Elektroden (4) auf der den Gräben (44) gegenüberliegenden Oberfläche der Piezokeramikscheibe (41) aufgebracht werden, so daß sie mittig und parallel über den Kanälen (5) verlaufen und einander nicht berühren,
d) die Antriebselemente (1) durch Zerteilen der Piezokeramikscheibe (41) zwischen den zweiten Elektroden (4) mindestens auf der Länge der elektrisch kontaktierten Bereiche voneinander separiert werden und
e) auf der Frontseite der Piezokeramikscheibe (41) die mit den Kanälen (5) verbundene Düsenfront (21) hergestellt wird.
a) die Gräben (44) mit Kunststoff (45) aufgefüllt werden,
b) die gemeinsame erste Elektrode (3) durch Aufsputtern einer Metallschicht aufgebracht wird und
c) der Kunststoff (45) anschließend entfernt wird.
a) auf der den Gräben (44) gegenüberliegenden Oberfläche der Piezokeramikscheibe (41) eine obere Metallschicht (42) aufgebracht wird und
b) die obere Metallschicht (42) so strukturiert wird, daß die zweiten Elektroden (4) entstehen, die den Kanälen (5) gegenüberliegen und einander nicht berühren.
a) geschliffen und poliert wird,
b) eine metallische Sputterschicht (46) aufgebracht wird,
c) auf die Sputterschicht (46) die metallische Düsenfront (21) galvanisch aufgebrächt und
d) die Düsen (22) mittig auf die Kanäle (5) stoßend erzeugt werden.
a) die Frontseite der Keramikscheibe (41) geschliffen und poliert wird,
b) durch Laserätzen die Düsen (22) mittig auf die Kanäle (5) stoßend erzeugt werden.
a) es wird eine Laserstrahlung mit einer (Luft)wellenlänge kleiner als etwa 350 nm verwendet,
b) die Beaufschlagung mit Laserstrahlung wird nur impulsweise durchgeführt und
c) die Impulsdauer, die Pulswiederholungsrate und die Pulsenergie wird derart aufeinander abgestimmt bemessen, daß in der Piezokeramikscheibe (41) ein wesentlicher Wärmestau vermieden wird.
a1) the drive element (1) has a piezoceramics portion (2) in which the channel (44) is provided,
a2) the first electrode (3) is arranged on the piezoceramics portion so that it closes the channel (44) to form the ink duct (5),
a3) the second electrode (4) is arranged on the piezoceramics portion insulated from the first electrode (3) and in that
b) the nozzle face (21) is directly connected to the piezoceramics portions (2).
a) the ducts (5) extend parallel to each other,
b) the drive elements (1) can be individually controlled,
c) the channels (44) are closed by a common first electrode (3) to form ducts (5) and
d) the piezoceramics portions (2) are separated from each other at least over the length of the electrically contacted regions and
e) each duct (5) opens into a nozzle (22).
a) at least one channel (44) is produced in a polarised piezoceramics wafer (41),
b) the common first electrode (3) is applied to the channel side of the piezoceramics wafer (41) so that the channels (44) are closed and hence ducts (5) are produced,
c) the second electrodes (4) are applied to the surface of the piezoceramics wafer (41) opposite the channels (44) so that they extend axially and in parallel over the ducts (5) and do not touch each other,
d) the drive elements (1) are separated from one another by splitting the piezoceramics wafer (41) between the second electrodes (4) at least over the length of the electrically contacted regions and
e) on the front side of the piezoceramics wafer (41) the nozzle face (21) is established in connection with the ducts (5).
a) the channels (44) are filled with a plastics material (45),
b) the common first electrode (3) is applied by sputtering on a metal layer and
c) the plastics material (45) is then removed.
a) an upper metal layer (42) is applied to the surface of the piezoceramics wafer (41) opposite the channels (44) and
b) the upper metal layer (42) is structured so that the second electrodes (4) are produced, which are opposite the ducts (5) and do not contact one another.
a) being ground and polished
b) a metallic sputter layer (46) being applied,
c) the metallic nozzle face (21) being galvanically applied to the sputter layer (46) and
d) the nozzles (22) being produced to meet with the ducts (5) in the middle.
a) the front side of the ceramics wafer (41) being ground and polished, and
b) the nozzles (22) being produced by laser etching to meet with the ducts (5) in the middle.
a) laser radiation with an (air) wavelength of less than about 350 nm is used,
b) action with laser radiation is carried out only in pulsed manner and
c) the impulse duration, the pulse repetition rate and the pulse energy are set with respect to each other so that a substantial heat accumulation in the piezoceramics wafer (41) is avoided.
a1) l'élément d'entraînement (1) possède une partie piézocéramique (2) dans laquelle est ménagé le sillon (44),
a2) la première électrode (3) est disposée sur la partie piézocéramique (2) de telle sorte qu'elle obture le sillon (24) pour la formation du canal d'adduction d'encre (5),
a3) la seconde électrode (4) est disposée sur la partie piézocéramique (2) en étant isolée par rapport à la première électrode (3), et
b) le bloc à buses (21) est raccordé directement aux parties piézocéramiques (2).
a) les canaux (5) sont parallèles,
b) les éléments d'entraînement (1) peuvent être commandés individuellement,
c) les sillons (44) sont fermés par une première électrode commune (3) pour former des canaux (5), et
d) les parties piézocéramiques (2) sont séparées les unes des autres, au moins sur la longueur des zones de contact électrique, et
e) chaque canal (5) débouche dans une buse (22).
a) on forme au moins un sillon (44) dans un disque piézocéramique polarisé (41),
b) on dépose la première électrode commune (3) sur la face, dans laquelle sont ménagés les sillons, du disque piézocéramique (41) de manière à fermer les sillons (44) et à faire apparaître ainsi des canaux (5),
c) on dépose les secondes électrodes (4) sur la surface du disque piézocéramique (40), qui est situé à l'opposé des sillons (44), de telle sorte qu'elles sont disposées au centre et parallèlement au-dessus des canaux (5) et ne soient pas en contact réciproque,
d) on sépare les uns des autres des éléments d'entraînement (1) en subdivisant le disque piézocéramique (41) entre les deux électrodes (4), au moins sur la longueur des zones de contact électrique, et
e) sur la face avant du disque piézocéramique (41) on forme le bloc à buses (21) qui est raccordé aux canaux (5).
a) on remplit les sillons (44) avec une matière plastique (45),
b) on dépose la première électrode commune (3) par pulvérisation cathodique d'une couche métallique, et
c) on élimine ensuite la matière plastique (45).
a) on dépose une couche métallique supérieure (42) sur la surface, qui est située à l'opposé des sillons (44), du disque piézocéramique (41), et
b) on structure la couche métallique supérieure (42) de manière à faire apparaître les secondes électrodes (4), qui sont situées à l'opposé des canaux (5) et ne se touchent pas.
a) on meule et on polit la face avant du disque piézocéramique (41),
b) on y dépose par pulvérisation une couche métallique (46),
c) on dépose galvaniquement le bloc à buses métalliques (21) sur la couche (46) déposée par pulvérisation cathodique, et
d) on forme les buses (22) en aboutement, de manière qu'elles soient centrées sur les canaux (5).
a) on meule et on polit la face avant du disque piézocéramique (41),
b) on forme les buses (22) en aboutement, dans des positions centrées sur les canaux (5), par corrosion laser.
a) on utilise un rayonnement laser possédant une longueur d'onde (dans l'air) inférieure à environ 350 nm,
b) on applique seulement de façon impulsionnelle le rayonnement laser, et
c) on règle la durée des impulsions, la fréquence de répétition des impulsions et l'énergie des impulsions les unes sur les autres de manière à éviter une accumulation de chaleur importante dans le disque piézocéramique (41).