(19)
(11) EP 0 365 533 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
02.05.1990  Patentblatt  1990/18

(21) Anmeldenummer: 88903797.0

(22) Anmeldetag:  15.04.1988
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 39/ 24( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1988/000323
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1988/010011 (15.12.1988 Gazette  1988/27)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE

(30) Priorität: 12.06.1987 DE 19873719685

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
D-80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHULTZ, Ludwig
    D-8526 Bubenreuth (DE)
  • HOENIG, Eckhardt
    D-8520 Erlangen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON LEITERBEREICHEN AUS EINEM OXIDKERAMISCHEN SUPRALEITERMATERIAL HOHER SPRUNGTEMPERATUR