(19)
(11) EP 0 373 550 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
22.05.1991  Patentblatt  1991/21

(43) Veröffentlichungstag A2:
20.06.1990  Patentblatt  1990/25

(21) Anmeldenummer: 89122805.8

(22) Anmeldetag:  11.12.1989
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)5: H01J 49/40
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE FR GB IT LI NL SE

(30) Priorität: 14.12.1988 DE 3842044

(71) Anmelder: FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH
D-52425 Jülich (DE)

(72) Erfinder:
  • Bechthold, Paul, Dr.
    D-5000 Köln (DE)
  • Mihelcic, Matija, Dr.
    D-5170 Jülich (DE)
  • Wingerath, Kurt
    D-4050 Mönchengladbach (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
   
       


    (54) Flugzeit(massen)spektrometer mit hoher Auflösung und Transmission


    (57) Ein Flugzeit(massen)spektrometer hoher Empfindlichkeit und Auflösung wird mit einer Ionenquelle (für einen gepulsten Ionenstrahl) vorgesehen, die in Flugrichtung anstelle sonst üblicher Gitter eine Serie von paral­lelen Lochelektroden mit einer strahlbündelnden, raumfokussierenden Potentialverteilung aufweist. Eine Minimierung der chromatischen Aberration wird dabei durch eine Potentialverteilung erreicht, deren erste Ableitung in Achsrichtung zumindest zwei Null-Werte durchläuft. Vorzugsweise umfaßt der für die Geschwin­digkeitsfokussierung wichtige Reflektor ebenfalls eine Folge von Lochelektroden anstelle sonst üblicher Gitter. Als Detektor dient insbesondere ein Kanal­plattendetektor mit Justierungsmitteln für Position und Winkel der Einfallsfläche relativ zum Strahl.







    Recherchenbericht