(19)

(11)

EP 0 375 733 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 04.07.1990  Patentblatt  1990/27 (21) Anmeldenummer: 88908162.0 (22) Anmeldetag:  07.10.1988

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G03F 7/ 004( . ) G03F 1/ 10( . ) G03F 7/ 09( . ) G03F 1/ 02( . ) G03F 3/ 10( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1988/000620 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1989/003545 (20.04.1989 Gazette  1989/09)

(84) Benannte Vertragsstaaten: CH DE FR GB IT LI (30) Priorität: 07.10.1987 DE 19873733874 (71) Anmelder: Dr.-Ing. Rudolf Hell GmbH D-2300 Kiel 1 (DE)	(72) Erfinder: MEINTZ, Helma D-2314 Schönkirchen (DE)