(19)

(11)

EP 0 386 034 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 12.09.1990  Patentblatt  1990/37 (21) Anmeldenummer: 88908954.0 (22) Anmeldetag:  19.10.1988

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/ 677( . ) H01L 21/ 00( . ) B65G 49/ 07( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP1988/000936 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1989/004053 (05.05.1989 Gazette  1989/10)

(84) Benannte Vertragsstaaten: FR GB IT NL SE (30) Priorität: 20.10.1987 DE 19873735449 (71) Anmelder: CONVAC GMBH D-75446 Wiernsheim (DE)

(72) Erfinder: KUNZ-CONCEWITZ, Horst D-7135 Wiernsheim-Serres (DE) SCHMUTZ, Wolfgang D-7214 Zimmern 1 (DE) MANN, Roland D-7000 Stuttgart 70 (DE) OLBRICH, Herbert D-7255 Rutesheim (DE) GENTISCHER, Joseph D-7064 Remshalden (DE) FRÜHAUF, Wolfgang D-7060 Gerlingen (DE) DORNER, Johann D-7301 Deizisau (DE) BREITSCHWERDT, Günther D-7000 Stuttgart 40 (DE) (74) Vertreter: Dreiss, Hosenthien, Fuhlendorf & Partner  Gerokstrasse 6 D-70188 Stuttgart D-70188 Stuttgart (DE)