(19)
(11) EP 0 386 206 A1

(12)

(43) Date de publication:
12.09.1990  Bulletin  1990/37

(21) Numéro de dépôt: 89909582.0

(22) Date de dépôt:  17.08.1989
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/ 205( . )
H01L 21/ 265( . )
H01L 21/ 76( . )
 H01L 21/ 20( . )
H01L 21/ 324( . )
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR1989/000423
(87) Numéro de publication internationale:
WO 1990/002416 (08.03.1990 Gazette  1990/06)
(84) Etats contractants désignés:
DE GB

(30) Priorité: 18.08.1988 FR 19880010983

(71) Demandeurs:
  • CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS)
    F-75700 Paris Cedex 07 (FR)
  • ETAT FRANCAIS représenté par le Ministre Délégue des Postes, des Télécommunications et de l'Espace
    F-92130 Issy-les-Moulineaux (FR)

(72) Inventeurs:
  • ROSE, Benoît
    F-75018 Paris (FR)
  • MIRCEA, Andréi
    F-91330 Yerres (FR)
  • CHEVALLIER, Jacques
    F-78310 Maurepas (FR)
  • PESANT, Jean-Claude
    F-92360 Meudon-la-Forêt (FR)

(74) Mandataire: Lhoste, Catherine 
BREVATOME 25, rue de Ponthieu
F-75008 Paris
F-75008 Paris (FR)

   


(54) PROCEDE DE NEUTRALISATION DES ATOMES ACCEPTEURS DANS InP DE TYPE p