DISPOSITIF DE CARACTERISATION ELECTRIQUE D'ECHANTILLONS ET APPLICATION A LA CARTOGRAPHIE ELECTRIQUE D'ECHANTILLONS SEMI-CONDUCTEURS DE GRANDE SURFACE - Patent 0389529

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EP 0 389 529 A1

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(43)	Date de publication:
	03.10.1990 Bulletin 1990/40

(21)	Numéro de dépôt: 88910050.0

(22)	Date de dépôt: 16.11.1988

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Int. Cl.:

G01N 22/ 00^{( . )}

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/FR1988/000563

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 1989/004969 (01.06.1989 Gazette 1989/12)

(84)	Etats contractants désignés:
	DE GB NL

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Priorité:

17.11.1987 FR 19870015858

(71)	Demandeurs:
	ETAT FRANCAIS représenté par le Ministre des Postes, Télécommunications et de l'Espace F-92131 Issy-les-Moulineaux (FR) UNIVERSITE DE RENNES I F-35000 Rennes (FR)

(72)	Inventeurs:
	FAVENNEC, Pierre-Noel F-22300 Lannion (FR) LE CLEAC'H, Xavier F-22660 Trelevern (FR)

(74)	Mandataire: Fort, Jacques
	CABINET PLASSERAUD 84, rue d'Amsterdam F-75009 Paris F-75009 Paris (FR)

(54)	DISPOSITIF DE CARACTERISATION ELECTRIQUE D'ECHANTILLONS ET APPLICATION A LA CARTOGRAPHIE ELECTRIQUE D'ECHANTILLONS SEMI-CONDUCTEURS DE GRANDE SURFACE