......DE......GB........NL..........................................................................*EPregister to ST.36 EBD process v 1.0 kbaumeister@epo.org (15 Jan 2013)0389529A119901003EP88910050.01988111619900712frfrfr1987001585819871117FR1990100319904019901003199040G01N 22/ 00 A I enDEVICE FOR ELECTRIC CHARACTERIZATION SAMPLES AND APPLICATION TO THE ELECTRIC CARTOGRAPHY OF SEMICONDUCTOR SAMPLES OF LARGE SURFACE AREAfrDISPOSITIF DE CARACTERISATION ELECTRIQUE D'ECHANTILLONS ET APPLICATION A LA CARTOGRAPHIE ELECTRIQUE D'ECHANTILLONS SEMI-CONDUCTEURS DE GRANDE SURFACEdeVORRICHTUNG ZUR ELEKTRISCHEN KENNZEICHNUNG VON PROBEN UND DIE ANWENDUNG AUF DIE ELEKTRISCHE KARTOGRAPHIE VON HALBLEITERPROBEN MIT GROSSER OBERFLÄCHEETAT FRANCAIS représenté par le Ministre des Postes, Télécommunications et de l'Espace(CENTRE NATIONAL D'ETUDES DES TELECOMMUNICATIONS), 38-40 rue du Général LeclercF-92131 Issy-les-MoulineauxFRUNIVERSITE DE RENNES I2, rue du ThaborF-35000 RennesFRFAVENNEC, Pierre-NoelCrec'h Lia, Beg LeguerF-22300 LannionFRLE CLEAC'H, XavierLe RhuneF-22660 TrelevernFRFort, JacquesCABINET PLASSERAUD 84, rue d'AmsterdamF-75009 ParisFRDEGBNLFR198800056319881116frWO198900496919890601198912