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(11) | EP 0 392 337 A3 |
(12) | EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
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(54) | Verfahren zur Bestimmung des Konzentrationsverhältnisses zweier Elemente eines Stoffs aus dem Intensitätsverhältnis zweier Spektrallinien dieser Elemente in einem Plasma dieses Stoffs |
(57) Es wird ein Verfahren angegeben zur Bestimmung des Konzentrationsverhältnisses Cab zweier Elemte a, b eines Stoffes aus dem Intensitätsverhältnis Iab zweier Spektrallinien dieser Elemente in einem Plasma dieses Stoffes. In diesem Verfahren
wird außer dem Intensitätsverhältnis Iab das Intensitätsverhältnis Ic1,2 zweier Spektrallinien 1 und 2 eines Elemtes c mit den unterschiedlichen Anregungsenergien
E1 und E2 gemessen und dann nach Gleichung 1 das Konzentrationsverhältnis Cab bestimmt. Die Konstante K wird vorher aus einem bekannten Konzentrationsverhältnis C′ab der Elemente a und b eines vergleichbaren Stoffes und den zugehörigen im Plasmaspektrum gemessenen Intensitätsverhältnissen I′ab und I′c1,2 nach Gleichung 2 berechnet. Dabei ist ein eingeschränkter wertebereich für Iab, I′c1,2 und C′ab zu beachten. |