(19)
(11) EP 0 399 021 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
28.11.1990  Patentblatt  1990/48

(21) Anmeldenummer: 90900116.0

(22) Anmeldetag:  27.11.1989
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C07F 5/ 00( . )
C07F 9/ 50( . )
C07F 9/ 90( . )
C23C 16/ 20( . )
 C07F 5/ 06( . )
C07F 9/ 70( . )
C23C 16/ 18( . )
C23C 16/ 30( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1989/001431
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1990/006315 (14.06.1990 Gazette  1990/14)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB NL

(30) Priorität: 10.12.1988 DE 19883841643

(71) Anmelder: MERCK PATENT GmbH
D-64271 Darmstadt (DE)

(72) Erfinder:
  • ERDMANN, Dietrich
    D-6109 Mühltal-Traisa (DE)
  • POHL, Ludwig
    D-6100 Darmstadt (DE)
  • HOSTALEK, Martin
    D-6100 Darmstadt (DE)

   


(54) ALUMINIUM-, GALLIUM-, ODER INDIUM-ORGANISCHE VERBINDUNGEN UND IHRE VERWENDUNG ZUR GASPHASENABSCHEIDUNG DES METALLS AUF SUBSTRATEN