(19)
(11) EP 0 408 966 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
24.04.1991  Patentblatt  1991/17

(43) Veröffentlichungstag A2:
23.01.1991  Patentblatt  1991/04

(21) Anmeldenummer: 90112591.4

(22) Anmeldetag:  02.07.1990
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)5: G03G 5/082
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE DE ES FR GB IT NL SE

(30) Priorität: 19.07.1989 DE 3923931
19.07.1989 DE 3923930

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
D-80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • Rubner, Roland, Dr. rer. nat.
    D-8560 Lauf (DE)
  • Birkle, Siegfried, Dr. rer. nat.
    D-8552 Höchstadt (DE)
  • Kammermaier, Johann, Dr. rer. nat.
    D-8025 Unterhaching (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
   
       


    (54) Elektrophotographisches Aufzeichnungsmaterial und Verfahren zu seiner Herstellung


    (57) Es wird ein neues elektrophotographisches Aufzeichnungsmate­rial für die Xerographie vorgeschlagen, welches auf einem plat­ten- oder trommelförmigen Substrat im Schichtaufbau aufge­bracht ist, eine photoleitfähige Schicht aufweist und bei dem zumindest die oberste Schicht aus amorphem wasserstoffhaltigem Kohlenstoff ausgebildet ist. In einer Variante des Verfahrens wird die amorphe wasserstoffhaltige Kohlenstoffschicht aus einem HF-angeregten Niederdruckplasma mit gasförmigem Kohlen­wasserstoff als Reaktionsgas abgeschieden, wobei dem Hochfre­quenzfeld eine self bias-DC-Spannung überlagert ist. Das so erhaltene a-C:H-Material ist halbleitend und weist photolei­tende Eigenschaften auf, so daß es auch für die photoleitende Schicht im elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterial ver­wendet werden kann.







    Recherchenbericht