DIELEKTRISCHES SUBSTRAT MIT ERNIEDRIGTER UND STABILISIERTER ELEKTRISCHER OBERFLÄCHENLEITFÄHIGKEIT, VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG, SOWIE VERWENDUNG DES SUBSTRATES - Patent 0418360

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EP 0 418 360 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	27.03.1991 Patentblatt 1991/13

(21)	Anmeldenummer: 90905382.0

(22)	Anmeldetag: 09.04.1990

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Internationale Patentklassifikation (IPC):

H01L 27/ 04^{( . )}
H01L 21/ 822^{( . )}
H01L 41/ 02^{( . )}

H01L 21/ 312^{( . )}
H01L 23/ 29^{( . )}
H01L 41/ 18^{( . )}

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/AT1990/000028

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 1990/012420 (18.10.1990 Gazette 1990/24)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT CH DE FR LI

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Priorität:

10.04.1989 AT 19890000841

(71)	Anmelder: AVL Gesellschaft für Verbrennungskraftmaschinen und Messtechnik mbH.Prof.Dr.Dr.h.c. Hans List
	A-8020 Graz (AT)

(72)	Erfinder:
	SARACOGLU, Ibrahim, Adnan A-8043 Graz (AT)

(74)	Vertreter: Krause, Walter, Dr. Dipl.-Ing., et al
	Postfach 200 Singerstrasse 8 A-1010 Wien A-1010 Wien (AT)

(54)	DIELEKTRISCHES SUBSTRAT MIT ERNIEDRIGTER UND STABILISIERTER ELEKTRISCHER OBERFLÄCHENLEITFÄHIGKEIT, VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG, SOWIE VERWENDUNG DES SUBSTRATES