Mehrkammer-Vakuumanlage

Abstract

 Die Erfindung beschreibt eine Mehrkammer-Vakuumanlage bestehend aus einer Chargen-Wechselkammer 5 und mehreren Prozeßkammern 1 - 4. Eine der Prozeßkammern dient gleich­zeitig als Schleusenkammer 4. Sie besteht aus zwei Teilen, welche an der Innen- bzw. Außenseite der Chargen-Wechsel­kammer befestigt sind.

Beschreibung

[0001] Die Erfindung betrifft eine Mehrkammer-Vakuumanlage nach dem Oberbegriff des ersten Patentanspruches.

[0002] Insbesondere ist eine Anwendung bei Wärmebehandlungsanlagen, wie z.B. Schmelz- und Gießanlagen oder Sinteranlagen, in wel­chen das Behandlungsgut unter Vakuum einem Taktbetrieb unter­worfen ist, vorgesehen.

[0003] Solche Anlagen bestehen aus zwei oder mehr Kammern, in wel­chen sehr unterschiedliche atmosphärische Bedingungen (Druck, Temperatur und Gaszusammensetzung) herrschen können. Im Takt­betrieb wird das zu behandelnde Gut, welches mehrere Verfah­rensschritte durchlaufen soll, nacheinander in den einzelnen Kammern den jeweiligen Prozessen unterzogen. Damit die spezi­fischen atmosphärischen Bedingungen, welche in den Kammern herrschen, über eine längere Betriebsdauer aufrechterhalten werden können, muß das Behandlungsgut beim Übergang von der Atmosphäre in eine Kammer oder umgekehrt eine Schleuse durch­laufen.

[0004] Schleusen sind aufwendige Bauteile. Sie müssen mit mindestens zwei Ventilen ausgestattet sein, an welche hohe Ansprüche ge­stellt werden. Besonders der Einsatz im Vakuumbereich und bei hohen Temperaturen erfordert spezielle, konstruktive Maßnahmen, wie z.B. passende Materialwahl und zusätzliche Kühlsysteme.

[0005] Aufgabe der Erfindung ist es, den oben genannten Aufwand für Schleusen zu umgehen und ein einfaches System zum Ein- und Ausschleusen von Behandlungsgut in und aus Mehrkammer-Vakuum­anlagen vorzustellen.

[0006] Die Aufgabe wird durch den kennzeichnenden Teil des ersten Patentanspruches gelöst. Die Ansprüche zwei bis vier stellen weitere Ausgestaltungsformen der Erfindung dar.

[0007] Durch die Verwendung einer der vorhandenen Prozeßkammern als Schleusenkammer zum Ein- und Ausschleusen von Behandlungsgut in und aus der Chargen-Wechselkammer, wird die Verwendung ei­ner zusätzlichen Schleuse überflüssig. Die oben geschilderten Nachteile, welche den Einsatz einer zusätzlichen Schleuse mit sich bringen würde, werden vermieden. Die gesamte Anlage wird somit in ihrem Aufbau einfacher und im Betrieb sicherer und bedienungsfreundlicher.

[0008] Die Erfindung wird in den Figuren 1 und 2 anhand eines Beispiels näher erläutert.

[0009] Es zeigen:

Fig. 1:
Querschnitt des Teils der Mehrkammer-Vakuumanlage, welcher mit der Schleusenkammer verbunden ist.

Fig. 2:
Grundriß der Mehrkammer-Vakuumanlage.

[0010] In Figur 1 ist ein Ausschnitt aus einer Mehrkammer-Vakuumanlage anlage im Querschnitt dargestellt. Figur 2 zeigt einen Grund­riß der gesamten Anlage. Diese besteht in dem hier dargestell­ten Beispiel aus vier Prozeßkammern 1-4, welche über eine Chargen-Wechselkammer 5 miteinander verbunden sind. Die mit 4 bezeichnete Prozeßkammer dient erfindungsgemäß gleichzei­tig als Schleusenkammer. Sie besteht aus einem unterem Teil 4a und einem oberen Teil 4b.

[0011] Das untere Teil 4a ist mit der Innenseite und das obere Teil 4b mit der Außenseite der Chargen-Wechselkammer 5 vakuumdicht und lösbar verbunden. Eine Hub-Schwenkvorrichtung 8 ermöglicht es, das obere Teil 4b anzuheben und zur Seite zu schwenken. In diesem Zustand kann die Schleusenkammer 4 mit einer Charge 6 beladen werden. Eine Hubvorrichtung 7 kann die Charge 6 nach Druckausgleich in der Schleusenkammer 4 in die Chargen-Wechsel­kammer 5 befördern. Von hier aus kann die Charge durch einen nicht dargestellten, ansich bekannten, Fördermechanismus in die übrigen Prozeßkammern 1 - 3 gelangen. Das Ausschleusen der Char­ge geschieht entsprechend in umgekehrter Reihenfolge. Statt ei­ner können auch mehrere der Prozeßkammern als Schleusenkammer ausgebildet sein.

Ansprüche

1. Mehrkammer-Vakuumanlage bestehend aus einer Chargenwechsel­kammer (5) und mehreren damit verbundenen Prozeßkammern, dadurch gekennzeichnet, daß eine der Prozeßkammern (4) zu­sätzlich als Schleusenkammer zum Ein- und Ausschleusen von Behandlungsgut in und aus der Anlage verwendet wird.

2. Mehrkammer-Vakuumanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­net, daß die Schleusenkammer (4) aus zwei Teilen (4a, 4b) besteht, wobei das untere Teile (4a) mit der Innenseite der Chargen-Wechselkammer (5) und das obere Teil (4b) mit der Außenseite der Chargen-Wechselkammer (5) vakuumdicht verbun­den sind.

3. Mehrkammer-Vakuumanlage nach Anspruch 2, dadurch gekennzeich­net, daß das untere Teil (4a) der Schleusenkammer mit einer Hubvorrichtung (7) verbunden ist, welche dieses in das Innere der Chargen-Wechselkammer (5) befördern kann.

4. Mehrkammer-Vakuumanlage nach Anspruch 2, dadurch gekenn­zeichnet, daß das obere Teil (4b) der Schleusenkammer mit einer Hub-Schwenkvorrichtung (8) verbunden ist, welche dieses zur Seite schwenken kann.

Zeichnung