(19)
(11) EP 0 424 422 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
02.05.1991  Patentblatt  1991/18

(21) Anmeldenummer: 89907697.0

(22) Anmeldetag:  03.07.1989
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/ 00( . )
C23C 14/ 22( . )
H01L 39/ 22( . )
 C23C 14/ 04( . )
C23C 14/ 28( . )
H01L 39/ 24( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1989/000760
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1990/000815 (25.01.1990 Gazette  1990/03)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IT NL

(30) Priorität: 06.07.1988 DE 19883822905

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
D-80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • DAALMANS, Gabriel
    D-8520 Erlangen (DE)
  • ROAS, Bernhard
    D-8520 Erlangen (DE)
  • HOENIG, Hans, Eckhardt
    D-8520 Erlangen (DE)

   


(54) JOSEPHSON-TUNNELELEMENT MIT METALLOXIDISCHEM SUPRALEITERMATERIAL UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES ELEMENTES