(19)

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EP 0 428 580 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 29.05.1991  Patentblatt  1991/22 (21) Anmeldenummer: 89908997.0 (22) Anmeldetag:  05.08.1989

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C04B 37/ 00( . ) C04B 41/ 51( . ) C04B 41/ 81( . ) C04B 41/ 89( . ) H01L 39/ 24( . ) C04B 41/ 45( . ) C04B 41/ 52( . ) C04B 41/ 88( . ) C23C 26/ 00( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP1989/000929 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1990/001808 (22.02.1990 Gazette  1990/05)

(84) Benannte Vertragsstaaten: CH FR GB IT LI (30) Priorität: 10.08.1988 DE 19883827100 02.05.1989 DE 19893914477 (71) Anmelder: Licentia Patent-Verwaltungs-GmbH D-60596 Frankfurt (DE)	(72) Erfinder: LORENZ, Artur D-6453 Seligenstadt (DE) (74) Vertreter: Lertes, Kurt, Dr.  Licentia Patent-Verwaltungs-GmbH Theodor-Stern-Kai 1 D-60596 Frankfurt D-60596 Frankfurt (DE)