(19)
(11) EP 0 429 501 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
05.06.1991  Patentblatt  1991/23

(21) Anmeldenummer: 89909158.0

(22) Anmeldetag:  17.08.1989
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 8/ 36( . )
H01J 37/ 32( . )
 C23C 14/ 50( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1989/000541
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1990/002213 (08.03.1990 Gazette  1990/06)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE DE FR GB IT

(30) Priorität: 18.08.1988 DE 19880010441U

(71) Anmelder: Klöckner Ionon GmbH
D-51379 Leverkusen (DE)

(72) Erfinder:
  • ELWART, Jan
    D-5042 Erftstadt (DE)
  • OPPEL, Werner
    D-5000 Köln 50 (DE)
  • REMBGES, Wolfgang
    D-5000 Köln 90 (DE)

(74) Vertreter: Bauer, Wulf, Dr. 
Bayenthalgürtel 15
W-5000 Köln 51 (Marienburg)
W-5000 Köln 51 (Marienburg) (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUR PLASMABEHANDLUNG MIT EINER ANODE