(19)

(11)

EP 0 431 021 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 12.06.1991  Patentblatt  1991/24 (21) Anmeldenummer: 89909676.0 (22) Anmeldetag:  29.08.1989

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 14/ 24( . ) H01L 21/ 203( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/AT1989/000077 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1990/002214 (08.03.1990 Gazette  1990/06)

(84) Benannte Vertragsstaaten: BE CH DE FR GB IT LI NL SE (30) Priorität: 29.08.1988 AT 19880002110 (71) Anmelder: HAINZL INDUSTRIESYSTEME GESELLSCHAFT M.B.H. A-4040 Linz (AT)	(72) Erfinder: HUMENBERGER, Josef A-4040 Linz (AT) (74) Vertreter: Hübscher, Helmut, Dipl.-Ing., et al  Patentanwälte Dipl.-Ing. Gerhard Hübscher Dipl.-Ing. Helmut Hübscher Dipl.-Ing. Heiner Hübscher Spittelwiese 7 A-4020 Linz A-4020 Linz (AT)