| (19) |
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(11) |
EP 0 433 480 B1 |
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EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT |
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Hinweis auf die Patenterteilung: |
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12.04.2000 Patentblatt 2000/15 |
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Anmeldetag: 20.12.1989 |
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Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01T 2/02 |
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Hohlelektrodenschalter
Hollow electrode switch
Commutateur à électrode creuse
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| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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CH DE FR GB IT LI |
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Veröffentlichungstag der Anmeldung: |
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26.06.1991 Patentblatt 1991/26 |
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Patentinhaber: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
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80333 München (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- Rohde, Klaus-D.
D-8520 Erlangen (DE)
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| (56) |
Entgegenhaltungen: :
EP-A- 0 337 192 US-A- 4 280 098
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WO-A-89/00354
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- JOURNAL OF PHYSICS E. SCIENTIFIC INSTRUMENTS. vol. 19, no. 6, Juni 1986, ISHING, BRISTOL
GB Seiten 466 - 470; MECHTERSHEIMER e.a.: "High repetition rate, fast current rise,
pseudo-spark switch."
- Japanese Journal of Applied Physics 29 (1990) Febr. , No. 2, Part. 2, S. L 371 - L
374, A Tinschmann et al.: "The Pseudospark Switch - A High-Voltage Gas Discharge Switch
for High-Power Applications"
- Rapport - Bericht R 131/84, G Mechtersheimer, R. Meyer ,"Aufbau und Eigenschaften
eines für grosse Stromanstiegsraten und hohe Wiederholfrequenzen geeigneten Pseudofunkenschalters",
Saint-Louis, France,1984
- Plasma und Lichtbogen, Verlag Friedr. Vieweg & Sohn, Braunschweig, 1967, Braunschweig,
1967, W. Rieder, S. 62-65
- Encyclopedia of Physics, Edited by S. Flügge, Volume XXII, Gas Discharges II, Springer-Verlag,
Berlin, 1956, S. 56,57, Gordon Francis: The Glow Discharge at Low Pressure
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Bemerkungen: |
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Die Akte enthält technische Angaben, die nach dem Eingang der Anmeldung eingereicht
wurden und die nicht in dieser Patentschrift enthalten sind. |
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| Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die
Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen
das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich
einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr
entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen). |
[0001] Die Erfindung bezieht sich auf einen Niederdruck-Gasentladungsschalter gemäß dem
Oberbegriff des Patentanspruches 1 mit den Merkmalen a) bis d).
[0002] Die Zündspannung für eine vorgegebene Gasentladungsstrecke und ihre übliche graphische
Darstellung in Abhängigkeit vom Produkt aus Gasdruck p und Elektrodenabstand D in
der Zündkennlinie bildet bekanntlich unter entsprechender Berücksichtigung der Zündwahrscheinlichkeit
ein wichtiges Hilfsmittel zur Kennzeichnung von elektrischen Entladungsgeräten. Bei
der Ermittlung der elektrischen Spannungsfestigkeit einer vorgegebenen Gasentladungsstrecke
wird im allgemeinen der unendlich große Plattenkondensator und seine Zündkennlinie
zum Vergleich herangezogen. Die praktische Ausführungsform solcher Entladungsstrecken
hat jedoch Elektroden mit endlichen Abmessungen. Umwegentladungen kann man durch eine
bekannte Elektrodenkonstruktion mit ebenen Plattenelektroden vermeiden, die koaxial
zueinander angeordnet und an ihren Rändern mit einem relativ zum Elektrodenabstand
kleinen Krümmungsradius voneinander abgebogen und entlang der inneren zylindrischen
Isolatoroberfläche geführt sind. Es wird somit zwischen dem abgebogenen, zylinderförmigen
Randgebiet der Elektroden und der Innenwand des hohlzylindrischen Isolators stets
ein Spalt gebildet. Mit dieser Ausführungsform einer Niederdruck-Gasentladungsstrecke
kann auch im Nahdurchschlagsgebiet, d.h. links vom Minimum der sog. Paschenkurve,
die Zündkennlinie beispielsweise für verschiedene Edel- und Molekülgase ermittelt
werden.
[0003] Es sind auch Gasentladungsschalter bekannt, die durch eine gepulste Niederdruck-Gasentladung
gesteuert werden. Sie schalten beispielsweise Ströme von 18 kA bei einer Spannung
von 25 kV. Der Entladungsschalter enthält eine Anode und eine Kathode mit koaxialen
Öffnungen für die Niederdruckgasentladung, die am Rande durch einen Isolator voneinander
getrennt sind. Die Schaltkammer enthält eine ionisierbare Gasfüllung, deren Druck
p so gewählt ist, daß die Zündspannung mit steigendem Produkt pxd abnimmt. Für die
Gasentladung ist eine Steuereinrichtung vorgesehen, die einen hutförmigen Kathodenkäfig
enthält, der mit der Kathode elektrisch leitend verbunden ist und somit auf dem Kathodenpotential
liegt. Er umschließt den Kathodenrückraum und trennt diesen vom Bereich einer Glimmentladung.
Die Gasentladung zwischen der Kathode und der Anode wird durch Erhöhen der Elektronendichte
im Kathodenraum gezündet (Japanese Journal of Applied Physics 29 (1990), Febr., No.
2, Part. 2, Tokyo, p. L 371 - L 374).
[0004] In einer aus der US-PS 2 900 566 bekannten Ausführungsform eines Gasentladungsschalters
ist eine Vielzahl von Elektroden vorgesehen, die koaxial zueinander angeordnet sind
und einen gemeinsamen Entladungskanal bilden. Zwischen der Anode und der Kathode sind
noch mehrere Zwischenelektroden angeordnet.
[0005] Ein Niederdruck-Gasentladungsschalter kann auch mehrere Entladungskanäle enthalten,
die mit einer gemeinsamen Triggereinrichtung versehen sind. Diese Triggereinrichtung
enthält eine gemeinsame Hohlelektrode, die mit der gemeinsamen Kathode elektrisch
leitend verbunden ist. Die synchrone Zündung der Entladungskanäle wird eingeleitet
durch Ladungsträger, die aus einem Vorionisierungsbereich durch Löcher im Boden des
Käfigs in den Kathodenrückraum eintreten (J. Phys. E.: Sci. Instr. 20 (1987), S. 270
bis 273).
[0006] Weiterhin ist aus der EP-A-0 337 192 ein Niederdruck-Gasentladungsschalter der gattungsgemäßen
Art bekannt, der zwei koaxiale Elektroden enthält, die mit fluchtenden Bohrungen versehen
sind und in einem zentralen Entladungsbereich eine Gasentladungsstrecke für eine Niederdruckgasentladung
und an ihren Rändern einen Isolationsbereich bilden. Dabei hat die Anode rückseitig
jeweils ein Sackloch und die Kathode in der Mehrzahl der Beispiele rückseitig einen
Kathodenzylinder bzw. einen sogenannten Käfig. Um den Kathodenkäfig kann eine Triggerelektrode
schalen- bzw. hutförmig angeordnet sein, wobei neben einer solchen Hohlelektrode weitere
Elektroden vorhanden sein können, die zur Steuerung und/oder Begrenzung des Kathodenrückraumes
dienen. Bei einer spezifischen Variante soll auf eine separate Steuerelektrode verzichtet
werden können und die Funktion der Vorionisierung und der Triggerung zur Zündung der
Gasentladung durch die Hohlelektrode übernommen werden.
[0007] Bei der EP-A-0 337 192 sind Aufbau und Zuordnung von Kathodenkäfig und Hohlelektroden
entsprechend den einzelnen Figuren der diesbezüglich relevanten Ausführungsbeispiele
vergleichsweise komplex. Daneben ist aus der US 4 280 098 ein koaxial aufgebauter
Pseudofunken-Schalter bekannt, bei der im Entladungsraum eine Anode und eine zugehörige
Kathode ineinandergreifen und von einer Steuerelektrode umgeben sind.
[0008] Der Erfindung liegt demgegenüber die Aufgabe zugrunde, letztere bekannte Ausführungsform
eines Hohlelektrodenschalters zu verbessern. Insbesondere soll die Zündeinrichtung
für den Hohlelektrodenschalter vereinfacht werden.
[0009] Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch einen Gasentladungsschalter mit der
Kombination der Merkmale a) bis e) des Patentanspruchs 1. Vorteilhafte Weiterbildungen
sind in den Unteransprüchen angegeben.
[0010] Gemäß der Erfindung wird bei einem Gasentladungsschalter der Abstand zwischen dem
Rand der wenigstens schalenförmig ausgebildeten Hohlelektrode von der wirksamen Kathodenbegrenzung
mit dem diesbezüglichen Kathodenpotential begrenzt. Insbesondere bei einer hutförmigen
Ausbildung der Hohlelektrode lassen sich durch die angegebene Dimensionierungsvorschrift
geringe Abstände und damit geeignete Randbedingungen für den Gasentladungsschalter
vorgeben.
[0011] Zum Erzeugen der zur Zündung der Entladungsstrecke erforderlichen Raumladung kann
beispielsweise eine Glühkathode vorgesehen sein, die zwischen der Bezugselektrode
und dem Boden der Hohlelektrode angeordnet ist. Ferner kann die Raumladung beispielsweise
auch durch Mikrowellenanregung oder durch eine optische Zündeinrichtung, insbesondere
einem Laserstrahl, erzeugt werden.
[0012] Eine besonders vorteilhafte Ausführungsform des Hohlelektrodenschalters besteht darin,
daß die zum Zünden der Entladungsstrecke erforderliche Raumladung durch eine Glimmentladung
bereitgestellt wird. Zu diesem Zweck kann die Hohlelektrode in einfacher Weise an
eine Triggerspannungsquelle für eine negative Triggerspannung mit ausreichender Energie
angeschlossen sein. Die Hohlelektrode bildet die Anode und die gegenüber der Öffnung
der Hohlelektrode angeordnete Bezugselektrode bildet die Kathode für die Glimmentladung.
[0013] In einer weiteren Ausführungsform kann die Hohlelektrode noch an eine zusätzliche
Spannungsquelle mit einem positiven Potential für eine Vorionisierung angeschlossen
sein. Diese Vorionisierung erzeugt innerhalb der Hohlelektrode eine stromschwache
Glimmentladung, die noch nicht zum Zünden der Entladungsstrecke führt. Durch diese
Glimmentladung wird die Spannungsfestigkeit an der Entladungsstrecke und damit die
Stabilität des Schalters verbessert. Die Zündung der Entladungsstrecke wird dann erst
durch einen überlagerten negativen Triggerimpuls mit steiler Anstiegsflanke und kurzer
Dauer von der Triggerelektrode erzeugt. Die Bezugselektrode erhält eine doppelte Funktion;
sie bildet zugleich eine Kathode für die Gasentladung an der Entladungsstrecke und
an ihrer von der Entladungsstrecke abgewandten Rückseite eine Kathode für die Glimmentladung.
In dieser Ausführungsform erhält man einen Hohlelektrodenschalter mit sehr geringer
Schaltverzögerung (delay) und geringer Streuung (jitter); ferner erhält man bei diesem
Hohlelektrodenschalter eine wesentlich geringere Spannungsabhängigkeit bei gleichem
Druck.
[0014] Zur weiteren Erläuterung der Erfindung wird auf die Zeichnung Bezug genommen, in
deren Figur 1 ein Ausführungsbeispiel eines Hohlelektrodenschalters gemäß der Erfindung
schematisch veranschaulicht ist. In den Figuren 2 und 3 ist jeweils eine besondere
Ausführungsform der Hohlelektrode dargestellt.
[0015] Ein Hohlelektrodenschalter gemäß Figur 1 enthält zwei Elektroden, von denen eine
als Kathode 2 und die andere als Anode 3 geschaltet sind und von denen wenigstens
die Kathode 2 mit mindestens einer Öffnung 4 versehen ist. In gleicher Weise kann
auch die Anode 3 mit wenigstens einer Öffnung 5 versehen sein. Durch die beiden Öffnungen
4 und 5 wird eine Entladungsstrecke 8 gezündet. Die Kathode 2 und die Anode 3, die
im allgemeinen jeweils einen Rotationskörper bilden, sind in einem vorbestimmten Abstand
zueinander angeordnet, der beispielsweise etwa 1 bis 10, vorzugsweise etwa 2 bis 5
mm, betragen kann. Zwischen den beiden Öffnungen 4 und 5 wird eine Entladungsstrecke
8 gezündet. Die Kathode 2 und die Anode 3 bestehen aus elektrisch leitendem Material,
vorzugsweise Edelstahl, und können an der Entladungsstrecke 8 im allgemeinen noch
mit besonderen Einsätzen 6 und 7 aus einem hochschmelzenden Metall versehen sein oder
auch ganz aus diesem hochschmelzendem Metall bestehen. Der Durchmesser der Bohrungen
4 und 5 wird vorzugsweise höchstens so groß und insbesondere kleiner als der Abstand
d der Elektroden 2 und 3 an der Entladungsstrecke 8 gewählt. Vorzugsweise ist die
Dicke der Kathode 2 an ihrer Öffnung 4 vermindert, insbesondere kann der obere Rand
der Öffnung 4 abgeschrägt sein. Insbesondere kann auch die Dicke der Anode 3 an ihrer
Öffnung 5 vermindert sein. Die Kathode 2 und die Anode 3 sind mit einem elektrisch
isolierenden Trennkörper verbunden, der einen Teil der Wand einer Schaltkammer 14
bildet, der aus elektrisch isolierendem Material, vorzugsweise Keramik, besteht und
mit einem Arbeitsgas gefüllt ist.
[0016] Zur Triggereinrichtung für die Entladungsstrecke 8 gehört eine Hohlelektrode 10,
die in der Schaltkammer 14 derart angeordnet ist, daß ihre Öffnung der Entladungsstrecke
8 zugewandt ist. Der Abstand A ihres unteren Randes vom Potential ihrer Bezugselektrode,
das ist in dieser Ausführung mit positiver Schaltspannung U
o von beispielsweise 40 kV die Kathode 2, ist geringer als die Länge des kathodischen
Dunkelraumes einer Glimmentladung des Arbeitsgases. Die Hohlelektrode 10 besteht aus
einem elektrisch leitenden Material, beispielsweise Edelstahl, und hat wenigstens
die Form einer Schale, vorzugsweise die Form eines Topfes, dessen Tiefe T größer als
die Länge des kathodischen Dunkelraumes der Glimmentladung ist. Die Form des Topfes
der Hohlelektrode 10 wird vorzugsweise so gewählt, daß das Verhältnis des Durchmessers
D zur Topftiefe T etwa 0,2 bis 2, insbesondere etwa 1, beträgt. Der seitlich erweiterte
Boden 11 ist mit Ausgleichsöffnungen 15 und 16 versehen, in der Wand der Schaltkammer
14 befestigt und mit einer elektrisch leitenden Verbindung durch die Wand hindurchgeführt.
[0017] Die Gasfüllung besteht aus einem ionisierbaren Gas, vorzugsweise Wasserstoff oder
Deuterium oder einer Mischung dieser Gase. Ferner geeignet ist bekanntlich Stickstoff
oder Edelgase, wie beispielsweise Argon oder Helium.
[0018] Der Hohlelektrode 10 ist eine Triggerspannungsquelle 17 zugeordnet, die beispielsweise
über einen Begrenzungswiderstand 18 und eine Entkopplungskapazität 19 an die Hohlelektrode
10 angeschlossen sein kann. Die Triggerspannungsquelle 17 liefert einen Triggerimpuls
mit steiler Anstiegsflanke und einer negativen Spannung von beispielsweise etwa 0,5
bis 10 kV, vorzugsweise etwa 1 bis 5 kV gegenüber dem Bezugspotential der Kathode
2, das beispielsweise Erdpotential sein kann. Die Länge des Triggerimpulses ist wenigstens
so groß wie die Schaltverzögerung der Entladungsstrecke 8 und kann beispielsweise
etwa 0,1 bis 2 µs, vorzugsweise etwa 0,5 bis 1 µs, betragen.
[0019] Die Schaltkammer 14 enthält im allgemeinen noch einen Gasspeicher 24 für das Arbeitsgas,
beispielsweise Wasserstoff oder Deuterium oder einer Mischung dieser Gase. Dieser
in der Figur lediglich schematisch angedeutete Gasspeicher 24 ist mit einer in der
Figur nicht näher dargestellten Heizeinrichtung versehen, deren elektrische Anschlüsse
durch die Wand der Schaltkammer 14 hindurchgeführt und mit 25 und 26 bezeichnet sind.
In einer bevorzugten Ausführungsform des Hohlelektrodenschalters kann das Gasreservoir
des Gasspeichers 24 vorzugsweise zugleich als Druckregelungssystem für den Hohlelektrodenschalter
dienen.
[0020] In einer besonderen Ausführungsform des Hohlelektrodenschalters gemäß der Erfindung
kann der Hohlelektrode 10 noch eine zusätzliche Spannungsquelle 21 für eine Vorionisierung
zugeordnet sein, deren positive Spannung gegenüber dem Bezugspotential der Kathode
2 beispielsweise etwa 0,1 bis 5 kV betragen kann und die über einen hohen Vorwiderstand
22 von vorzugsweise einigen MOhm an die Hohlelektrode 10 angeschlossen sein kann.
Die positive Spannung der Spannungsquelle 21 wird so gewählt, daß sie innerhalb der
Hohlelektrode 10 eine stromschwache Glimmentladung im Strombereich von beispielsweise
µA bis zu wenigen mA erzeugt, die noch nicht zum Durchschlag an der Entladungsstrecke
8 führt. Dieser Durchschlag wird erst mit dem Triggerimpuls der Triggerspannungsquelle
17 eingeleitet. Mit diesem Hohlelektrodenschalter, bei dem mit einer Wasserstoffüllung
beispielsweise das Produkt

beträgt, erhält man bei einer angelegten Spannung U
o zwischen der Kathode 2 und der Anode 3 von beispielsweise 30 kV und einer Größe der
Hohlelektrode 10 mit beispielsweise

sowie einem Vorionisierungsstrom I
v = 0,2 mA und einem negativen Triggerimpuls von -4,5 kV eine Schaltverzögerung (delay)
von etwa 50 ns und eine Streuung (jitter), die auf etwa 1 ns begrenzt ist.
[0021] Unter Umständen kann es zweckmäßig sein, insbesondere bei sehr geringem Abstand A
der Hohlelektrode 10 von der Kathode 2, im Boden 11 zusätzliche Druckausgleichsöffnungen
vorzusehen. Unter Umständen kann auch die hohlzylindrische Seitenwand 12 der Hohlelektrode
10 mit solchen Druckausgleichsöffnungen versehen sein.
[0022] In der dargestellten Ausführungsform gemäß Figur 1 sind die Triggerspannungsquelle
17 und die zusätzliche Spannungsquelle 21 zur Vorionisierung mit dem Boden 11 der
Hohlelektrode 10 elektrisch leitend verbunden. Unter Umständen kann es jedoch zweckmäßig
sein, die Triggerspannung oder die Vorionisierungsspannung oder beide an der Seitenwand
12 der Hohlelektrode 10 zuzuführen.
[0023] In dieser Ausführungsform des Hohlelektrodenschalters mit positiver Schaltspannung
U
o bildet die geerdete, obere Bezugselektrode die Kathode 2 und die untere die Anode
3. Wird eine negative Schaltspannung U
o angelegt, so bildet die obere geerdete Elektrode die Anode der Entladungsstrecke
8. Unabhängig von der Polarität der Schaltspannung U
o bildet die als Kathode 2 bezeichnete Bezugselektrode das Bezugspotential für die
Triggerspannungsquelle 17 und die Spannungsquelle 21.
[0024] Im Ausführungsbeispiel ist ein Hohlelektrodenschalter beschrieben, der nur eine einzige
Kathode 2 und eine Anode 3 enthält. Es kann jedoch auch eine Vielelektrodenanordnung
mit Zwischenelektroden vorgesehen sein, mit der man eine verminderte Feldstärke zwischen
den Elektroden und eine entsprechend erhöhte Spannungsfestigkeit des Hohlelektrodenschalters
erhält.
[0025] In einer weiteren Ausführungsform enthält der Hohlelektrodenschalter eine Vielzahl
von Einzelentladungsstrecken, die parallel zueinander angeordnet und mit einer gemeinsamen
Hohlelektrode, die von ihrer Bezugselektrode elektrisch isoliert ist und mit Mitteln
zum Herstellen einer Raumladung, insbesondere einer Glimmentladung, versehen ist.
Damit erhält man eine Erhöhung der Stromanstiegsrate und eine Verminderung der Schalterinduktivität
und des Schalterwiderstandes sowie eine hohe Lebensdauer und eine hohe Strombelastbarkeit.
[0026] In der Ausführungsform einer Hohlelektrode 10 gemäß Figur 2 ist der Boden 11 der
Hohlelektrode mit einem Fortsatz 13 versehen, dessen freies Ende der Entladungsstrecke
8 zugewandt ist. Der Fortsatz 13 hat die Form eines Zylinders, bei dem die Kante des
Endes abgerundet ist. Dieser Fortsatz 13 dient zur Beeinflussung der Glimmentladung,
insbesondere der Verteilung der Raumladungsdichte, innerhalb der Hohlelektrode.
[0027] Gemäß Figur 3 hat dieser Fortsatz 13 die Form eines Kegels, dessen abgerundete Spitze
der Entladungsstrecke 8 zugewandt ist.
1. Niederdruck-Gasentladungsschalter mit folgenden Merkmalen:
a) Es sind Wenigstens zwei in einer Schaltkammer (14) im Abstand d voneinander angeordnete
Hauptelektroden (2, 3) vorgesehen, die eine Kathode (2) und eine Anode (3) für eine
Niederdruckgasentladung in einem Arbeitsgas bilden, wobei wenigstens die Kathode (2)
mit wenigstens einer Öffnung (4) für eine Entladungsstrecke (8) vorgesehen ist,
b) die Schaltkammer (14) enthält als Arbeitsgas eine ionisierbare Gasfüllung, deren
Druck p so gewählt ist, daß die Zündspannung der Gasentladung mit steigendem Produkt
p x d abnimmt,
c) die Zündung der Gasentladung erfolgt durch Erhöhung der Elektronendichte im Kathodenrückraum,
wobei wenigstens eine Hohlelektrode (10) zur Steuerung und Triggerung vorhanden ist,
die wenigstens schalenförmig ausgebildet und mit ihrer Öffnung der Entladungsstrecke
(8) zwischen Kathode (2) und Anode (3) zugewandt ist, so daß sie wenigstens den Kathodenrückraum
umschließt,
d) die Hohlelektrode (10) übernimmt als Steuerelektrode gleichermaßen die Funktion
von Vorionisierung und Triggerung zur Zündung der Gasentladung, wozu Mittel zum Erzeugen
einer Raumladung innerhalb der wenigstens schalenförmig ausgebildeten Hohlelektrode
(10) vorgesehen sind, gekennzeichnet durch das weitere Merkmal:
e) der Abstand (A) des Randes der wenigstens schalenförmig ausgebildeten Hohlelektrode
(10) von der Kathode (2) ist geringer als die Länge des kathodischen Dunkelraums einer
Glimmentladung des Arbeitsgases im Kathodenrückraum.
2. Niederdruck-Gasentladungsschalter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß für die Glimmentladung im Kathodenrückraum die für die Gasentladung wirksame
Kathode (2) als Bezugselektrode und die davon elektrisch isolierte, als Hohlelektrode
(10) ausgebildete Steuerelektrode als Anode vorgesehen sind.
3. Niederdruck-Gasentladungsschalter nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Hohlelektrode (10) mit einer Triggerspannungsquelle (17) für einen negativen
Steuerimpuls elektrisch leitend verbunden ist.
4. Niederdruck-Gasentladungsschalter nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Hohlelektrode (10) über einen Entkopplungswiderstand (18) und eine Entkopplungskapazität
(19) an die Steuerspannungsquelle (17) angeschlossen ist.
5. Niederdruck-Gasentladungsschalter nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Hohlelektrode (10) an einen Triggertransformator angeschlossen ist.
6. Niederdruck-Gasentladungsschalter nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zusätzliche Mittel vorgesehen sind zum Erzeugen der Vorionisierung innerhalb
der Hohlelektrode (10).
7. Niederdruck-Gasentladungsschalter nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Hohlelektrode (10) über einen Entkopplungswiderstand (22) an eine Spannungsquelle
(21) für eine positive Gleichspannung angeschlossen ist.
8. Niederdruck-Gasentladungsschalter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Wenigstens schalenförmig ausgebildete Hohlelektrode (10) die Form eines
Topfes vorgegebenen Durchmessers und Topfptiefe mit zugehörigem Topfboden (11) hat.
9. Niederdruck-Hohlentladungsschalter nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Verhältnis des Durchmessers D zur Topftiefe T im Bereich 0,2 bis 2 gewählt
ist.
10. Niederdruck-Gasentladungsschalter nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Verhältnis des Durchmessers D zur Topftiefe T etwa 1 beträgt.
11. Niederdruck-Gasentladungsschalter nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der Kathode (2) wenigstens an ihrer Öffnung (4) vermindert ist.
12. Niederdruck-Gasentladungsschalter nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der der Hohlelektrode (10) zugewandte Rand der Öffnung (4) der Kathode (2) mit
einer Abschrägung versehen ist.
13. Niederdruck-Gasentladungsschalter nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Topfboden (11) der Hohlelektrode (10) mit einem Fortsatz (13) versehen ist.
14. Niederdruck-Gasentladungsschalter nach Anspruch 13, gekennzeichnet durch eine Zylinderform des Fortsatzes (13), dessen der Entladungsstrecke (8) zugewandtes
Ende mit einer abgerundeten Kante versehen ist (Figur 2).
15. Niederdruck-Gasentladungsschalter nach Anspruch 13, gekennzeichnet durch eine Kegelform des Fortsatzes (13), dessen abgerundete Spitze der Entladungsstrecke
(8) zugewandt ist (Figur 3).
16. Niederdruck-Gasentladungsschalter nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Vielzahl von Einzelentladungsstrecken (8), die parallel zueinander angeordnet
und denen gemeinsam die wenigstens schalenförmig ausgebildete Hohlelektrode (10) zugeordnet
ist.
1. Low-pressure gas discharge switch having the following features:
a) at least two main electrodes (2, 3) are provided that are arranged at a distance
d from each other in a switching chamber (14) and which constitute a cathode (2) and
an anode (3) for a low-pressure gas discharge in a working gas, wherein at least the
cathode (2) is provided so as to have at least one opening (4) for a discharge gap
(8),
b) the switching chamber (14) contains as a working gas an ionizable gas filling,
the pressure p of which is selected so that the firing voltage of the gas discharge
decreases with increasing product p x d,
c) the gas discharge is fired by increasing the electron density in the cathode back
chamber, wherein for the purposes of control and triggering at least one hollow electrode
(10) is provided that has at least the form of a dish and with its opening is turned
towards the discharge gap (8) between the cathode (2) and the anode (3) so that it
surrounds at least the cathode back chamber,
d) the hollow electrode (10) as the control electrode also takes on the functions
of pre-ionization and triggering for the purpose of firing the gas discharge, for
which purpose means are provided for generating a space charge within the hollow electrode
(10) that has at least the form of a dish, characterised by the further feature:
e) the distance (A) of the edge of the hollow electrode (10), which has at least the
form of a dish, from the cathode (2) is less than the length of the cathodic dark
space of a glow discharge of the working gas in the cathode back chamber.
2. Low-pressure gas discharge switch according to claim 1, characterised in that for
the glow discharge in the cathode back chamber the cathode (2) that is effective for
the gas discharge is provided as the reference electrode and the control electrode
that is electrically insulated therefrom and is formed as a hollow electrode (10)
is provided as the anode.
3. Low-pressure gas discharge switch according to claim 2, characterised in that the
hollow electrode (10) is electroconductively connected to a trigger voltage source
(17) for a negative control pulse.
4. Low-pressure gas discharge switch according to claim 3, characterised in that the
hollow electrode (10) is connected to the control voltage source (17) by way of a
decoupling resistor (18) and a decoupling capacitor (19).
5. Low-pressure gas discharge switch according to claim 3, characterised in that the
hollow electrode (10) is connected to a trigger transformer.
6. Low-pressure gas discharge switch according to claim 2, characterised in that additional
means are provided for the purpose of producing the preionisation within the hollow
electrode (10).
7. Low-pressure gas discharge switch according to claim 6, characterised in that the
hollow electrode (10) is connected to a voltage source (21) for a positive d.c. voltage
by way of a decoupling resistor (22).
8. Low-pressure gas discharge switch according to claim 1, characterised in that the
hollow electrode (10), which has at least the form of a dish, has the shape of a pot
of a given diameter and a given pot depth with an appropriate pot base (11).
9. Low-pressure hollow (sic) discharge switch according to claim 8, characterised in
that the selected ratio of the diameter D to the depth T of the pot lies in the range
of 0.2 to 2.
10. Low-pressure gas discharge switch according to claim 9, characterised in that the
ratio of the diameter D to the pot depth T amounts to approximately 1.
11. Low-pressure gas discharge switch according to claim 2, characterised in that the
thickness of the cathode (2) is reduced at least at its opening (4).
12. Low-pressure gas discharge switch according to claim 11, characterised in that the
edge of the opening (4) of the cathode (2) that is turned towards the hollow electrode
(10) is bevelled.
13. Low-pressure gas discharge switch according to claim 8, characterised in that the
pot base (11) of the hollow electrode (10) is provided with a projection (13).
14. Low-pressure gas discharge switch according to claim 13, characterised by a cylindrical
shape of the projection (13), the end of which that is turned towards the discharge
gap (8) is provided with an edge that is rounded off (Figure 2).
15. Low-pressure gas discharge switch according to claim 13, characterised by a conical
shape of the projection (13), the rounded-off tip of which is turned towards the discharge
gap (8) (Figure 3).
16. Low-pressure gas discharge switch according to claim 1, characterised by a plurality
of individual discharge gaps (8) which are arranged so as to be parallel to each other
and jointly associated with which there is the hollow electrode (10) that has at least
the form of a dish.
1. Commutateur à décharge de gaz basse pression ayant les caractéristiques suivantes
:
a) il est prévu au moins deux électrodes principales (2, 3) qui sont disposées dans
une chambre de commutation (14) à une distance d l'une de l'autre et qui forment l'une
une cathode (2) et l'autre une anode (3) pour une décharge de gaz basse pression dans
un gaz de travail, au moins la cathode (2) étant munie d'au moins une ouverture (4)
pour une voie de décharge (8),
b) la chambre de commutation (14) contient comme gaz de réaction une atmosphère gazeuse
ionisable dont la pression p est choisie de telle sorte que la tension d'amorçage
de la décharge de gaz diminue lorsque le produit p x d augmente,
c) l'amorçage de la décharge de gaz s'effectue par une augmentation de la densité
d'électrons dans l'espace arrière de cathode, au moins une électrode creuse (10) étant
présente pour la commande et pour le déclenchement, laquelle électrode creuse est
conçue au moins en forme de coque et est tournée par son ouverture vers la voie de
décharge (8) entre la cathode (2) et l'anode (3) de telle sorte qu'elle entoure au
moins l'espace arrière de cathode,
d) l'électrode creuse (10) en tant qu'électrode de commande assure en même temps la
fonction de préionisation et la fonction de déclenchement pour l'amorçage de la décharge
de gaz, des moyens pour produire une charge spatiale à l'intérieur de l'électrode
creuse (10) conçue au moins en forme de coque étant prévus à cet effet,
caractérisé par le fait que :
e) la distance (A) du bord de l'électrode creuse (10) conçue au moins en forme de
coque à la cathode (2) est plus petite que la longueur de l'espace sombre cathodique
d'une décharge lumineuse dans l'espace arrière de cathode.
2. Commutateur à décharge de gaz basse pression selon la revendication 1, caractérisé
par le fait que, pour la décharge lumineuse dans l'espace arrière de cathode, la cathode
(2) active pour la décharge de gaz est prévue comme électrode de référence et que
l'électrode de commande électriquement isolée de celle-ci et conçue comme électrode
creuse (10) est prévue comme anode.
3. Commutateur à décharge de gaz basse pression selon la revendication 2, caractérisé
par le fait que l'électrode creuse (10) est reliée de façon électriquement conductrice
à une source de tension de déclenchement (17) pour une impulsion de commande négative.
4. Commutateur à décharge de gaz basse pression selon la revendication 3, caractérisé
par le fait que l'électrode creuse (10) est reliée à la source de tension de déclenchement
(17) par l'intermédiaire d'une résistance de découplage (18) et d'une capacité de
découplage (19).
5. Commutateur à décharge de gaz basse pression selon la revendication 3, caractérisé
par le fait que l'électrode creuse (10) est raccordée à un transformateur de déclenchement.
6. Commutateur à décharge de gaz basse pression selon la revendication 2, caractérisé
par le fait qu'il est prévu des moyens supplémentaires pour produire la préionisation
à l'intérieur de l'électrode creuse (10).
7. Commutateur à décharge de gaz basse pression selon la revendication 6, caractérisé
par le fait que l'électrode creuse (10) est raccordée par l'intermédiaire d'une résistance
de découplage (22) à une source de tension (21) pour une tension continue positive.
8. Commutateur à décharge de gaz basse pression selon la revendication 1, caractérisé
par le fait que l'électrode creuse (10) conçue au moins en forme de coque a la forme
d'un pot ayant un diamètre et une profondeur prédéterminés ainsi qu'un fond de pot
(11) associé.
9. Commutateur à décharge de gaz basse pression selon la revendication 8, caractérisé
par le fait que le rapport du diamètre D à la profondeur de pot T est choisi dans
une plage comprise entre 0,2 et 2.
10. Commutateur à décharge de gaz basse pression selon la revendication 9, caractérisé
par le fait que le rapport du diamètre D à la profondeur de pot T vaut environ 1.
11. Commutateur à décharge de gaz basse pression selon la revendication 2, caractérisé
par le fait que l'épaisseur de la cathode (2) est réduite au moins à son ouverture
(4).
12. Commutateur à décharge de gaz basse pression selon la revendication 11, caractérisé
par le fait que le bord, proche de l'électrode creuse (10), de l'ouverture (4) de
la cathode (2) est muni d'un biseau.
13. Commutateur à décharge de gaz basse pression selon la revendication 8, caractérisé
par le fait que le fond de pot (11) de l'électrode creuse (10) est muni d'un prolongement
(13).
14. Commutateur à décharge de gaz basse pression selon la revendication 13, caractérisé
par une forme cylindrique du prolongement (13) dont l'extrémité tournée vers la voie
de décharge (8) est munie d'une arête arrondie (figure 2).
15. Commutateur à décharge de gaz basse pression selon la revendication 13, caractérisé
par une forme conique du prolongement (13) dont le sommet arrondi est tourné vers
la voie de décharge (8) (figure 3).
16. Commutateur à décharge de gaz basse pression selon la revendication 1, caractérisé
par une multiplicité de voies de décharge individuelles (8) qui sont disposées parallèlement
les unes aux autres et auxquelles l'électrode creuse (10) conçue au moins en forme
de coque est associée en commun.
