Kombination von Schichtwiderständen mit strukturierten Kontaktflächen und Anschlussdrähten

Beschreibung

Kombination von Anschlußdrähten und Schichtwiderständen mit strukturierten Kontaktflächen

[0001] Die Erfindung betrifft eine Kombination von Anschlußdrähten und elektrischen Schichtwiderständen, bestehend aus einer elektrischen Widerstandsstruktur, zwei Anschlußbahnen und zwei Kontaktflächen für die Anschlußdrähte, wobei die Kontaktflächen durch Isolierstreifen in jeweils zwei kleinere Kontaktflächen aufgeteilt sind.

[0002] Bei der Herstellung von elektrischen Schichtwiderständen muß ein Feinabgleich des elektrischen Widerstandes vorgenommen werden. Die mögliche Streuung der Aufsetzpunkte von Prüfspitzen auf die Kontaktflächen hat dabei einen Einfluß auf die Messungen des elektrischen Widerstands.

[0003] Um die notwendigen Herstellgenauigkeiten einzuhalten, werden vielfach sogenannte Vierpunktwiderstandsmessungen durchgeführt, bei denen auf die beiden Kontaktflächen des Meßwiderstands je zwei Prüfspitzen aufgesetzt werden. Durch den Meßwiderstand wird ein Meßstrom geleitet, der Spannungsabfall über den Widerstand wird durch das verbleibende Kontaktpaar bestimmt. Die Genauigkeit dieses Verfahrens ist groß.

[0004] Die Messung liefert den elektrischen Widerstand zwischen den beiden Spannungsprüfspitzen.

[0005] Durch Toleranzen bei der Positionierung der Spitzen auf den Kontaktflächen kann es deshalb zu Streuungen der abgeglichenen Meßwiderstände um den Sollwert kommen. Durch eine Strukturierung der Kontaktflächen in jeweils zwei Felder ist es möglich, die Genauigkeit der Aufsetzorte der Prüfspitzen vollständig aus dem Abgleichvorgang zu eliminieren. Ein solches Verfahren ist beispielsweise beschrieben in Philips Res. Repts. 13 (1958), 1-9.

[0006] Die Kontaktflächen der Schichtwiderstände haben eine Größe, die für das Anschweißen oder sonstige Befestigungen je eines Anschlußdrahtes ausgelegt sind. Diese Flächen sind für den Platzbedarf von Prüfspitzen überdimensioniert. Andererseits ist der zusätzliche Platz bei einer Vierpunktmessung mit zwei zusätzlichen Kontaktflächen der für die Prüfspitzen notwendigen Größe nicht vorhanden. Eine Unterteilung der vorhandenen zwei Kontaktflächen in vier kleinere Flächen ergibt Kontaktflächen, die einzeln für eine Kontaktierung mit Anschlußdrähten zu klein sind.

[0007] Es war daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine elektrische Kontaktierung für elektrische Schichtwiderstände, bestehend aus einer elektrischen Widerstandsstruktur. zwei Anschlußbahnen und zwei Kontaktflächen für die Anschlußdrähte. wobei die Kontaktflächen durch Isolierstreifen in jeweils zwei kleinere Kontaktflächen aufgeteilt sind, zu entwickeln, die einem genauen Widerstandsfeinabgleich mittels einer Vierpunktwiderstandsmessung zugänglich sind und mit Anschlußdrähten kontaktiert sind, ohne die Meßgenauigkeit damit zu verschlechtern.

[0008] Aus W0 86/01027 ist ein elektrischen Schichtwiderstand wie im Oberbegriff des Anspruchs 1 angegeben, bekannt.

[0009] Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Isolierstreifen und die Anschlußdrähte in ihrer Richtung so angeordnet sind, daß jeweils beide kleinen Kontaktflächen mit dem Anschlußdraht elektrisch leitend verbunden sind.

[0010] Vorzugsweise ist der vom Anschlußdraht überbrückte Isolierstreifen senkrecht zur Drahtachse angeordnet.

[0011] Außerdem ist es vorteilhaft, wenn die Engstelle unmittelbar am Ende des Isolierstreifens und möglichst nahe an der durch den Anschlußdraht geschaffenen Verbindungsstelle zwischen den jeweiligen beiden kleinen Kontaktflächen liegt.

[0012] Die Einteilung der beiden Kontaktflächen in jeweils zwei kleinere Kontaktflächen ist ohne Einfluß auf die erforderliche Genauigkeit bei der Anbringung der Anschlußdrähte. Sollte der zu befestigende Anschlußdraht über die Grenzen der kleineren Kontaktflächen hinausragen, so hat dies keinen abträglichen Einfluß auf den Abgleichwert, weil der elektrische Anschluß auf beiden Bereichen gegeben ist. Vorteilhaft ist auch, daß sich eine unterschiedliche Verschiebung der Anschlußdrähte quer zum Isolierstreifen nicht auf den elektrischen Widerstand auswirkt,
wenn der elektrische Kontakt zu den beiden Kontaktflächen in der Nähe des Isolierstreifens liegt.

[0013] Die Strukturierung der Kontaktflächen ist einsetzbar für elektrische Schichtwiderstände aus allen bekannten Materialien (z.B. Metalle wie Platin, Nickel; Halbleiter wie Silizium; leitende Kunststoffe), hergestellt in Dünn-oder Dickschichttechnik oder aus Folien. Geeignete Verfahren zur Herstellung der Isolierstreifen sind Laserstruktierieren, Trocken-oder Naßätzen.

[0014] Bekannte Kontaktierungsverfahren für die Anschlußdrähte sind Thermokompressionsschweißen -bonden, Spaltkopfschweißen, Löten oder andere Verfahren, die eine genügend große Kontaktfläche zum Bauelement herstellen.

[0015] Die Abbildung zeigt schematisch in beispielhafter Ausbildungsform in Aufsicht zwei Kontaktflächen eines elektrischen Dünnfilmwiderstands, die durch Isolierstreifen (2) in jeweils zwei kleinere Kontaktflächen (1) aufgeteilt sind, wobei die Isolierstreifen (2) so gelegt sind, daß die zu einer Anschlußbahn (3) gehörenden kleinen Kontaktflächen (1) ausschließlich über eine Engstelle (4) elektrisch miteinander und mit der Anschlußbahn (3) verbunden sind. Die Kontaktierung erfolgt mit zwei Anschlußdrähten (5) an den Kontaktstellen (6).

Ansprüche

1. Kombination von Anschlußdrähten und Schichtwiderständen, bestehend aus einer elektrischen Widerstandsstruktur, zwei Anschlußbahnen und zwei Kontaktflächen für die Anschlußdrähte, wobei die Kontaktflächen durch Isolierstreifen in jeweils kleinere Kontaktflächen aufgeteilt sind, und die Isolierstreifen (2) jeweils eine Engstelle (4) zwischen den beiden zu einer Anschlußbahn (3) gehörigen kleinen Kontaktflächen (1) ausbilden und diese kleinen Kontaktflächen (1) ausschließlich über diese Engstelle (4) elektrisch miteinander und mit der Anschlußbahn (3) verbunden sind,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Isolierstreifen (2) und die Anschlußdrähte (5) in ihrer Richtung so angeordnet sind, daß jeweils beide kleinen Kontaktflächen (1) mit dem Anschlußdraht (5) elektrisch leitend verbunden sind.

2. Kombination nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der vom Anschlußdraht (5) überbrückte Isolierstreifen (2) senkrecht zur Drahtachse angeordnet ist.

3. Kombination nach Anspruch 1 und 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Engstelle (4) unmittelbar am Ende des Isolierstreifens (2) und möglichst nahe an der durch den Anschlußdraht (5) geschaffenen Verbindungsstelle zwischen den beiden kleinen Kontaktflächen (1) liegt.

Claims

1. A combination of connecting wires and film resistors, consisting of an electric resistance structure, two connecting tracks and two contact surfaces for the connecting wires, the contact surfaces being divided into smaller contact surfaces in each case by insulating strips, and the insulating strips (2) each forming a constriction (4) between the two small contact surfaces (1) associated with one connecting track (3) and these small contact surfaces (1) being connected electrically together and to the connecting track (3) exclusively via this constriction (4), characterised in that the insulating strips (2) and the connecting wires (5) are oriented such that in each case both small contact surfaces (1) are connected to the connecting wire (5) so as to be electrically conductive.

2. A combination according to Claim 1, characterised in that the insulating strip (2) bridged by the connecting wire (5) is arranged at right-angles to the wire axis.

3. A combination according to Claims 1 and 2, characterised in that the constriction (4) lies immediately at the end of the insulating strip (2) and as close as possible to the junction point between the two small contact surfaces (1) which is provided by the connecting wire (5).

Revendications

1. Combinaison de fils de raccordement et de résistances à couche métallique, constituée d'une structure résistante électrique, de deux voies de raccordement et de deux surfaces de contact pour les fils de raccordement, les surfaces de contact étant, à chaque fois, divisées par des bandes isolantes dans des surfaces de contact plus petites, et les bandes isolantes (2) créant à chaque fois une zone étroite (4) entre les deux petites surfaces de contact (1) faisant partie d'une voie de raccordement (3) et ces petites surfaces de contact (1) étant reliées électriquement, essentiellement par l'intermédiaire de ces zones étroites (4), les unes aux autres et à la voie de raccordement (3),
caractérisée en ce que les bandes isolantes (2) et les fils de raccordement (5) sont agencés en direction de sorte qu'à chaque fois les deux petites surfaces de contact (1) sont reliées, de façon électriquement conductrice, au fil de raccordement (5).

2. Combinaison selon la revendication 1,
caractérisée en ce que la bande isolante (2) pontée par le fil de raccordement (5) est agencée perpendiculairement à l'axe du fil.

3. Combinaison selon l'une des revendications 1 ou 2,
caractérisée en ce que la zone étroite (4) est située directement à l'extrémité de la bande isolante (2) et le plus près possible de la zone de liaison entre les deux petites surfaces de contact (1), créée par le fil de raccordement (5).

Zeichnung