(19)
(11) EP 0 446 337 A1

(12)

(43) Date de publication:
18.09.1991  Bulletin  1991/38

(21) Numéro de dépôt: 90915317.0

(22) Date de dépôt:  04.10.1990
(51) Int. Cl.: 
H05H 1/ 42( . )
H05H 7/ 02( . )
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR1990/000709
(87) Numéro de publication internationale:
WO 1991/005449 (18.04.1991 Gazette  1991/09)
(84) Etats contractants désignés:
CH DE ES GB IT LI

(30) Priorité: 05.10.1989 FR 19890013018

(71) Demandeur: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS)
F-75700 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • VARDELLE, Michel
    F-87590 S.-Just-le-Martel (FR)
  • SARAY, Istvan
    H-1028 Budapest (HU)
  • FAUCHAIS, Pierre, Léon, Jacques
    F-87000 Limoges (FR)

(74) Mandataire: Mongrédien, André, et al 
c/o BREVATOME 25, rue de Ponthieu
F-75008 Paris
F-75008 Paris (FR)

   


(54) GENERATEUR DE PLASMA A CATHODE CREUSE POUR LE TRAITEMENT DE POUDRES PAR PLASMA