(19)

(11)

EP 0 461 169 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 18.12.1991  Patentblatt  1991/51 (21) Anmeldenummer: 90904310.0 (22) Anmeldetag:  21.02.1990

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G03F 7/ 20( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP1990/000284 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1990/010255 (07.09.1990 Gazette  1990/21)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT CH DE DK ES GB IT LI SE (30) Priorität: 28.02.1989 DE 19893906179 (71) Anmelder: BASF Aktiengesellschaft D-67063 Ludwigshafen (DE)	(72) Erfinder: HOFFMANN, Horst D-6702 Bad Duerkheim (DE) RIEBEL, Wolfgang D-6501 Bodenheim (DE) KAUFMANN, Helmut D-6720 Speyer (DE) HOLL, Norbert D-6719 Battenberg (DE)