MICROMOTEUR ELECTROSTATIQUE A CHAMP RADIAL REALISE PAR MICROFABRICATION PHOTOLITHOGRAPHIQUE ET PROCEDE DE REALISATION D'UN TEL MICROMOTEUR - Patent 0466874

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EP 0 466 874 A1

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(43)	Date de publication:
	22.01.1992 Bulletin 1992/04

(21)	Numéro de dépôt: 91903142.0

(22)	Date de dépôt: 06.02.1991

(51)

Int. Cl.:

H02N 1/ 00^{( . )}

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/CH1991/000030

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 1991/012650 (22.08.1991 Gazette 1991/19)

(84)	Etats contractants désignés:
	DE GB NL

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Priorité:

09.02.1990 CH 19900000426
23.02.1990 FR 19900002385

(71)	Demandeur: ASULAB S.A.
	CH-2501 Bienne (CH)

(72)	Inventeurs:
	PARATTE, Lionel CH-2000 Neuchâtel (CH) BORNAND, Etienne CH-2017 Boudry (CH) RACINE, Georges-André CH-2300 La Chaux-de-Fonds (CH)

(74)	Mandataire: Caron, Gérard, et al
	ICB Ingénieurs Conseils en Brevets SA Passage Max. Meuron 6 CH-2001 Neuchâtel CH-2001 Neuchâtel (CH)

(54)	MICROMOTEUR ELECTROSTATIQUE A CHAMP RADIAL REALISE PAR MICROFABRICATION PHOTOLITHOGRAPHIQUE ET PROCEDE DE REALISATION D'UN TEL MICROMOTEUR