(19)
(11) EP 0 468 990 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
05.02.1992  Patentblatt  1992/06

(21) Anmeldenummer: 90905516.0

(22) Anmeldetag:  10.04.1990
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/ 302( . )
H01P 1/ 16( . )
H01S 3/ 0975( . )
H05B 6/ 78( . )
H05H 1/ 46( . )
H01L 21/ 3065( . )
H01P 5/ 02( . )
H05B 6/ 70( . )
H05H 1/ 24( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1990/000562
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1990/013151 (01.11.1990 Gazette  1990/25)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE FR GB IT LI

(30) Priorität: 17.04.1989 DE 19893912569

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
D-80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • KRÜGER, Wolfgang
    D-8520 Erlangen (DE)

   


(54) ERZEUGUNG EINES ELEKTRISCHEN HOCHFREQUENZFELDES IN EINEM NUTZRAUM