(19)
(11)
EP 0 468 990 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
05.02.1992
Patentblatt 1992/06
(21)
Anmeldenummer:
90905516.0
(22)
Anmeldetag:
10.04.1990
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC):
H01L
21/
302
( . )
H01P
1/
16
( . )
H01S
3/
0975
( . )
H05B
6/
78
( . )
H05H
1/
46
( . )
H01L
21/
3065
( . )
H01P
5/
02
( . )
H05B
6/
70
( . )
H05H
1/
24
( . )
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1990/000562
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1990/013151
(
01.11.1990
Gazette 1990/25)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
CH DE FR GB IT LI
(30)
Priorität:
17.04.1989
DE 19893912569
(71)
Anmelder:
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
D-80333 München (DE)
(72)
Erfinder:
KRÜGER, Wolfgang
D-8520 Erlangen (DE)
(54)
ERZEUGUNG EINES ELEKTRISCHEN HOCHFREQUENZFELDES IN EINEM NUTZRAUM