(19)
(11) EP 0 473 488 A3

(12) DEMANDE DE BREVET EUROPEEN

(88) Date de publication A3:
08.07.1992  Bulletin  1992/28

(43) Date de publication A2:
04.03.1992  Bulletin  1992/10

(21) Numéro de dépôt: 91402222.3

(22) Date de dépôt:  09.08.1991
(51) Int. Cl.5: H01J 49/06
(84) Etats contractants désignés:
DE GB NL

(30) Priorité: 24.08.1990 FR 9010632

(71) Demandeur: CAMECA
F-92400 Courbevoie (FR)

(72) Inventeurs:
  • Chambost de, Emmanuel
    F-92045 Paris la Défense (FR)
  • Rasser, Bernard
    F-92045 Paris la Défense (FR)

(74) Mandataire: Lincot, Georges et al
THOMSON-CSF, SCPI, B.P. 329, 50, rue Jean-Pierre Timbaud
F-92402 Courbevoie Cédex
F-92402 Courbevoie Cédex (FR)


(56) Documents cités: : 
   
       


    (54) Spectromètre de masse stigmatique à haute transmission


    (57) Le spectromètre de masse selon l'invention comporte disposé entre une fente d'entrée (W1y, W1z) et une fente de sortie (W4y, W4z) traversées par des particules émises par un échantillon, un système optique de couplage (1) placé entre deux secteurs électrostatique (2) et magnétique (3). Son système optique de couplage comprend au moins deux lentllles (Ly) et (Lz) à fente orientées respectivement selon une première direction (Y) suivant laquelle la trajectoire des ions est incurvée par les secteurs électrostatique (2) et magnétique (3) et selon une direction perpendiculaire (Z) au plan de la trajectoire. Les positions des deux lentilles (Ly) et (Lz) sur l'axe optique du spectromètre sont déterminées pour obtenir une compensation des dispersions chromatiques sur tout l'axe en aval du spectromètre, une image stigmatique de la fente d'entrée dans le plan de sortie du spectromètre et une image stigmatique en aval du spectromètre de la fente d'entrée, d'un plan non conjugué avec la fente d'entrée, dans un plan distinct du plan de sortie.
    Application : spectromètre de masse stigmatique à haute transmission.






    Rapport de recherche