COMPOSITION DE RESINE SENSIBLE AUX RAYONNEMENTS UV ET AUX ELECTRONS - Patent 0474716

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EP 0 474 716 A1

(12)

(43)	Date de publication:
	18.03.1992 Bulletin 1992/12

(21)	Numéro de dépôt: 90908560.0

(22)	Date de dépôt: 29.05.1990

(51)

Int. Cl.:

C08G 8/ 04^{( . )}
C08K 5/ 29^{( . )}
G03F 7/ 023^{( . )}
H01L 21/ 027^{( . )}

C08G 8/ 00^{( . )}
C08L 61/ 04^{( . )}
G03F 7/ 039^{( . )}

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/FR1990/000373

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 1990/015363 (13.12.1990 Gazette 1990/28)

(84)	Etats contractants désignés:
	BE CH DE GB LI

(30)

Priorité:

30.05.1989 FR 19890007111

(71)	Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
	F-75015 Paris (FR)

(72)	Inventeurs:
	PIERRAT, Christophe F-38000 Grenoble (FR) ROSILIO, Charles F-91940 Les Ulis (FR) VINET, Françoise F-38000 Grenoble (FR)

(74)	Mandataire: Lhoste, Catherine
	BREVATOME 25, rue de Ponthieu F-75008 Paris F-75008 Paris (FR)

(54)	COMPOSITION DE RESINE SENSIBLE AUX RAYONNEMENTS UV ET AUX ELECTRONS