(19) |
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(11) |
EP 0 475 098 A3 |
(12) |
EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
(88) |
Veröffentlichungstag A3: |
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22.07.1992 Patentblatt 1992/30 |
(43) |
Veröffentlichungstag A2: |
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18.03.1992 Patentblatt 1992/12 |
(22) |
Anmeldetag: 14.08.1991 |
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(51) |
Internationale Patentklassifikation (IPC)5: G21K 7/00 |
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(84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT CH DE FR GB LI NL SE |
(30) |
Priorität: |
29.08.1990 DE 4027285
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(71) |
Anmelder: |
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- Firma Carl Zeiss
D-73446 Oberkochen (DE)
CH DE FR LI NL SE AT
- CARL-ZEISS-STIFTUNG,
HANDELND ALS CARL ZEISS
D-73446 Oberkochen (DE)
GB
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(72) |
Erfinder: |
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- Thieme, Jürgen, Dr.
W-3407 Diemarden (DE)
- Schmahl, Günter, Prof. Dr.
W-3400 Göttingen (DE)
- Nieman, Bastian, Dr.
W-3400 Göttingen (DE)
- Rudolph, Dietbert, Dr.
W-3410 Nordheim (DE)
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(56) |
Entgegenhaltungen: :
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(57) Das Röntgenmikroskop besitzt eine gepulste Röntgenstrahlquelle, die eine intensive
Linienstrahlung liefert, wie z.B. eine Plasmafokusquelle, einen Spiegelkondensor der
die Strahlung der Röntgenquelle auf das zu untersuchende Objekt fokussiert, und eine
als Zonenplatte ausgebildete Röntgenoptik, mit der das Objekt unter hoher Auflösung
auf einen Röntgendetektor abgebildet wird.
Durch diese Kombination ist es möglich, bei bildfehlerfreier hoher Auflösung auf der
Abbildungsseite gleichzeitig noch eine ausreichend hohe Röntgenenergie am Probenort
freizusetzen, so daß sich für die Untersuchung lebender Zellen erforderliche kurze
Belichtungszeiten ergeben.