| (19) |
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(11) |
EP 0 478 956 A3 |
| (12) |
EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
| (88) |
Veröffentlichungstag A3: |
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25.11.1992 Patentblatt 1992/48 |
| (43) |
Veröffentlichungstag A2: |
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08.04.1992 Patentblatt 1992/15 |
| (22) |
Anmeldetag: 29.08.1991 |
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| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE CH FR GB LI NL |
| (30) |
Priorität: |
04.10.1990 DE 4031248
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| (71) |
Anmelder: Forschungszentrum Karlsruhe GmbH |
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D-76133 Karlsruhe (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- Bley, Peter, Dr.
W-7514 Egg.-Leopoldshafen (DE)
- Mohr, Jürgen, Dr.
W-7519 Sulzfeld (DE)
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| (74) |
Vertreter: Gottlob, Peter, Dipl. Ing. |
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Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
Stabsabteilung
Patente und Lizenzen
Weberstrasse 5
D-76133 Karlsruhe
D-76133 Karlsruhe (DE) |
| (56) |
Entgegenhaltungen: :
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| (54) |
Mikromechanisches Element |
(57) Die Erfindung betrifft ein mikrochemisches Element, bestehend aus einem Substrat,
einem am Substrat haftenden, gegenüber diesem durch Temperaturänderung teilweise beweglichen
Mikrostrukturkörper, der seinerseits aus einem elektrisch nicht leitenden und aus
einem elektrisch leitenden Material aufgebaut ist, wobei zumindest ein Teil des elektrisch
leitenden Materials einen Heizwiderstand bildet.
Aufgabe der Erfindung ist, ein solches Element dieser Art anzugeben, bei dem die Bewegung
des Mikrostrukturkörpers parallel zum Substrat erfolgt. Die Aufgabe wird dadurch gelöst,
daß der Heizwiderstand im beweglichen Teil des Mikrostrukturkörpers in senkrechter
Richtung auf das Substrat gesehen asymmetrisch versetzt angeordnet und vollständig
im Mikrostrukturkörper versenkt ist, wobei seine Dikke in der angegebenen Richtung
der Dicke des Mikrostrukturkörpers entspricht.