(19)
(11) EP 0 479 837 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
15.04.1992  Patentblatt  1992/16

(21) Anmeldenummer: 90909623.0

(22) Anmeldetag:  29.06.1990
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G02B 6/ 13( . )
 G02B 6/ 134( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1990/000497
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1991/000534 (10.01.1991 Gazette  1991/02)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE FR GB LI SE

(30) Priorität: 30.06.1989 DE 19893922009

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
D-80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHÜPPERT, Bernd
    D-1000 Berlin 31 (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES VERLUSTARMEN, OPTISCHEN WELLENLEITERS IN EINER EPITAKTISCHEN SILIZIUM-SCHICHT