[0001] Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum bildmäßigen Beschreiben und Löschen
durch Polarisation bzw. Depolarisation einer mit ferroelektrischem Material beschichteten
Druckform und einer zur Depolarisation bzw. Umpolarisation der Druckform zugeordneten
Löschvorrichtung.
[0002] Eine Vorrichtung dieser Art ist aus der DE-OS 36 33 758 bekannt, bei der die Druckform
ebenfalls mit ferroelektrischem Material beschichtet ist und der ein Elektrodenpaar
und eine Wärmequelle zur örtlichen Polarisierung bzw. Depolarisierung zugeordnet ist
und die über eine Informationsübertragungseinheit ansteuerbar sind. Bei dieser bekannten
Vorrichtung wird die Eigenschaft genutzt, daß unterschiedlich polarisierte Stellen
des ferroelektrischen Materials unterschiedliche Affinitäten für Farbe und Wasser
haben. Die bildmäßige Polarisierung der Druckform erfolgt durch spontane Umklappvorgänge
von gewissen Bereichen, den sogenannten Domänen, innerhalb des Materials unter der
Wirkung eines elektrischen Feldes. Typisch für Ferroelektrika ist, daß diese sogenannte
spontane Polarisierung ab einer definierten, materialabhängigen Feldstärke der sogenannten
Koerzitivfeldstärke stattfindet.
[0003] Nach erfolgter Polarisierung verbleibt das Material in dem vorher erzeugten polarisierten
Zustand. Dieser stabile Zustand wird dadurch erreicht, daß die auf die Oberfläche
aufgebrachten Ladungen ein elektrisches Feld im Inneren des Materials aufbauen, in
dem die ferroelektrischen Domänen bei der Polarisierung ausgerichtet werden und ortsfest
eine Doppelschicht von Ladung und durch Dipole erzeugter Gegenladung bilden, die nur
durch starke äußere Felder oder hohe Temperatur zerstört werden kann, d.h. die Polarisierung
kann nur wieder rückgängig gemacht werden durch ein elektrisches Feld gleicher Größe,
aber entgegengesetzter Richtung bzw. durch Erwärmen über den sogenannten Curie-Punkt.
Nur wenn die zur spontanen Polarisierung notwendige Ladungsmenge auf die Oberfläche
der Druckform fließen kann, d.h. nur wenn das Produkt Strom x Zeit entsprechend groß
ist, kann polarisiert werden.
[0004] Die bekannte Vorrichtung beruht auf dem Prinzip von Stiftelektroden. Der Ladungsübergang
zur Oberfläche erfolgt über Berührung bzw. über Mikroentladung im Spalt zwischen Stiftelektroden
und Oberfläche der Druckform. Dies hat eine abrasive Materialbelastung oder eine nicht
immer ausreichende Ladungsmenge zur Folge.
[0005] Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde,
eine Vorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, bei der eine ausreichende
Ladungsmenge bei berührungslosem Ladungsübergang und eine verbesserte Auflösung der
Bildpunkte gewährleistet wird.
[0006] Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
[0007] Die Erfindung wird nachfolgend anhand von in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen
näher erläutert. Es Zeigen
- Fig. 1
- eine schematische Darstellung der erfingungsgemäßen Vorrichtung;
- Fig. 2 bis 5
- weitere Ausführungsbeispiele.
[0008] Gemäß Fig. 1 weist eine Elektronenstrahlkanone 1 ein evakuiertes Gehäuse 2 zur Vermeidung
einer Streuung der Elektronen an Luftmolekülen auf. Im Gehäuse 2 ist ein Strahlerzeugungssystem
3 zur Aussendung von Elektronen, zur Beschleunigung auf eine bestimmte Geschwindigkeit
und zur Strahlfokusierung eingebracht. Im weiteren Verlauf des Strahlenganges ist
ein Strahlformungssystem 4, das im wesentlichen elektrostatische oder magnetische
Linsen aufweist, und ein Ablenksystem 5 angeordnet, das ebenfalls aus elektrostatischen
oder magnetischen Ablenkelementen aufgebaut ist.
[0009] Damit die Lebensdauer des Strahlerzeugungssystems 3 erhöht und Zusammenstöße der
Elektronen mit Gasmolekülen unwahrscheinlich sind, sollte der Gasdruck im Gehäuse
2 nicht größer als ungefähr 10⁻³ mbar sein. Zur Evakuierung ist am Gehäuse 2 eine
Pumpe 6, vorzugsweise eine Hochvakuumpumpe wie Turbomolekular-, Kryo- oder Diffussionspumpe,
angebracht. Im weiteren Verlauf schließt sich dem Strahlerzeugungssystem 3, dem Strahlformungssystem
4 und dem Ablenksystem 5 ein Abbildungsraum 7 an, der durch Blenden, Röhrchen o.ä.
vom übrigen Gehäuse 2 getrennt ist und mittels einer Pumpe 8 evakuierbar ist. Der
Abbildungsraum 7 ist mittels einer an der Unterseite des Gehäuses 2 angeordneten,
der Oberfläche der Druckform 9 nachempfundenen Erweiterung 13 begrenzt. Oberhalb eines
Auftreffpunktes 30 des Elektronenstrahls 12 auf der Druckform 9 ist im Abbildungsraum
7 eine Elektronendetektorvorrichtung 29 angeordnet.
[0010] Die Elektronenstrahlkanone 1 ist radial über einer mit einer ferroelektrischen Schicht
9 versehenen Druckwalze 10 berührungslos zur Schicht 9 angebracht.
[0011] Entlang der Druckwalze 10 ist parallel zu deren Achse eine positiv aufladbare Kontaktleiste
11 angeordnet.
[0012] Der durch die Elektronenstrahlkanone 1 erzeugte Elektronenstrahl 12 wird direkt auf
die unter ihm hindurchlaufende ferroelektrische Druckform 9 der Druckwalze 10 gebracht.
Die vorher mittels der Kontaktleiste 11 positiv polarisierte Druckform 9, bzw. die
vorher unpolare Druckform 9, wird dabei durch die negativ geladenen Elektronen bildmäßig
negativ polarisiert. Eine Depolarisation läßt sich auch mittels einer Wärmequelle,
z.B. ein Laser, geheizte Stifte oder dergleichen, durch Erwärmung des ferroelektrischen
Materials über den Curie-Punkt erreichen.
[0013] Die aus dem Strahlerzeugungssystem 3 austretenden Primärelektronen werden durch eine
regelbare Gleichspannung beschleunigt und durch Elektronenlinsen zu einem Elektronenstrahl
12 gebündelt. Der Elektronenstrahl 12 wird so geführt, daß er die sich unter der Elektronenstrahlkanone
1 drehende Druckwalze 10 punktweise abrastert.
[0014] Durch die Wechselwirkung der schnellen Primärelektronen mit der ferroelektrischen
Druckform 9 der Walze 10 entstehen Sekundärelektronen 28, die im wesentlichen richtungsmäßig
ungeordnet aus der Oberfläche der ferroelektrischen Druckform 9 austreten und mittels
der Elektronendetektorvorrichtung 29 als Sekundärelektronenstrom gemessen werden können.
Die Elektronendetektorvorrichtung 29 ist im wesentlichen als ein ringförmiger elektrisch
leitfähiger Elektronenfänger ausgebildet, der in der einfachsten Ausführung aus einem
simplen Blech aufgebaut ist. Bessere Empfindlichkeit wird mit Anordnungen, die Fotomultiplier
verwenden, erreicht. Prinzipiell sind alle Anordnungen möglich, die auch in der Rasterelektronenmikroskopie
verwendet werden. Da der Auftreffpunkt 30 der Primärelektronen 12 mittels des Ablenksystems
5 vorbestimmt ist, kann der Sekundärelektronenstrom 28 in bekannter Weise auf einer
synchron mit dem Primärelektronenstrahl 12 abgelenkten Kathodenstrahlröhre als Intensität
der Bildpunkte dargestellt werden. Die Sekundärelektronenausbeute ist abhängig von
der Materialart und der Topographie der Oberfläche der ferroelektrischen Druckform
9 der Druckwalze 10 und außerdem vom Oberflächenpotential der aufgeladenen Druckform
9. Der durch Änderung der Topographie erzeugte Kontrast im Sekundärelektronenbild
kann zur Entdeckung von Defekten auf der Oberfläche herangezogen werden, der diesem
Kontrast überlagerte Potentialkontrast ist ein direktes Maß für den Ladungszustand
der ferroelektrischen Druckform 9 und dieser ist wiederum ein Maß für den im entsprechenden
Bildpunkt erzeugten Polarisationsgrad. Damit ist der Grauwert im Sekundärelektronenbild
eine Meßgröße 31 für die bildmäßige Beschriftung der ferroelektrischen Schicht. Erfindungsgemäß
wird diese Meßgröße 31 zur Steuerung bzw. Regelung der Informationsübertragungseinheit
32 verwendet, in der Weise daß z.B. die Punktgröße elektronisch durch Steuerung der
Fokussierung 33 der Polarisationsgrad durch Steuerung der Verweilzeit 34 des Elektronenstrahls
in einem Bildpunkt beeinflußt werden kann.
[0015] Diese Art der Polarisierung bietet folgende Vorteile. Der Elektronenstrahl 12 liefert
eine ausreichende Ladungsmenge und ermöglicht eine kurze Bebilderungszeit. Die Auflösung
der einzelnen Rasterpunkte kann eine Größenordnung von kleiner als 10 Mikrometer erreichen.
Mittels aus der Videotechnik verfügbaren Einrichtungen ist eine trägheitslose Steuerung
des Elektronenstrahls 12 möglich.
[0016] Die Punktgrößensteuerung ist sehr einfach durch Defokusierung in dem Strahlformungssystem
4 der Elektronenstrahlkanone 1 machbar. Die bildmäßige Polarisierung erfolgt vollkommen
berührungslos, also ohne abrasive Materialbelastung. Polarisieren ist bei hoher Temperatur
leichter möglich als bei tiefen Temperaturen. Die durch die Beschleunigungsspannung
des Strahlerzeugungssystems 3 in der Elektronenstrahlkanone 1 einstellbare Elektronenergie
ermöglicht eine definierte lokale Erwärmung und erleichtert die Polarisierung.
[0017] Mittels dieser Vorrichtung ist eine mehrfach reversible Änderung der Druckform möglich.
[0018] Als Hindernis bei der Anwendung des Elektronenstrahls 12 als schreibendes Element
erweist sich die Notwendigkeit ihn im Vakuum zu führen, da bei Normaldruck die Reichweite
der Elektronen zu gering ist.
[0019] Die im folgenden beschriebenen Ausführungsbeispiele stellen nur eine Auswahl aus
vielen Möglichkeiten zur Realisierung des Hauptanspruches dar.
[0020] Gemäß Fig. 2 sind zwischen der Erweiterung 13 und der ferroelektrischen Druckform
9 der Druckwalze 10 auf jeder Seite des Gehäuses 2 ein Paar oder mehrere Gleitdichtungen
14 angebracht. Zwischen jeweils zwei Gleitdichtungen 14 einer Seite ist ein Pumpstutzen
15 zum Anschluß einer Pumpe vorgesehen. Das Elektronenstrahlerzeugungssystem 3 ist
über Blenden 16, bzw. Röhrchen von einem Abbildungsraum 17 getrennt und kann über
die Pumpen 6 und 8 auf ein Vakuum kleiner als 10⁻⁴ mbar gehalten werden.
[0021] Zwischen den Gleitdichtungen 14 und dem Abbildungsraum 17 wird getrennt gepumpt,
so daß eine differentiell gepumpte Vakuumschleuse entsteht.
[0022] In Fig. 3 werden in einer Anordnung gemäß Fig. 2 zwischen der Erweiterung 13 des
Gehäuses 2 und der ferroelektrischen Schicht 9 der Druckwalze 10 Ferrofluide 18 zur
Abdichtung eingesetzt. Ein Ferrofluid 18 ist eine Suspension magnetischer Teilchen
in einer Trägerflüssigkeit. Wird ein Ferrofluid 18 in den Spalt 19 zwischen dem Gehäuse
2 und der Oberfläche der Druckform 9 eingebracht, bildet es eine aus der Dichttechnik
von Drehdurchführungen in bekannter Weise mittels eines Permanentmagneten 20 fokusierten
Ring und dichtet das Gehäuse 2 der Elektronenstrahlkanone 1 gegen die Druckform 9
hermetisch ab.
[0023] Ein weiteres Ausführungsbeispiel verwendet statt der Vakuumschleuse zur Abdichtung
des Gehäuses 2 der Elektronenstrahlkanone 1 gegen Normaldruck ein vakuumdichtes Fenster.
Es wird vorzugsweise zwischen Strahlerzeugersystem 3 und Abbildungsraum 17 anstelle
einer Blende angebracht. Solche Fenster aus dünnen Metall- oder Oxydfolien sind als
Lenardfenster seit langem bekannt. Sie gewährleisten einen Elektronenverlust unter
10 Prozent und sind auch mechanisch so stabil, daß sie 1 bar Druckunterschied aushalten
können.
[0024] Eine Variation des Elektronenstrahlerzeugungssystems 3 ist in Fig. 4 veranschaulicht.
Da der Elektronenverlust im Fenster stark von der Elektronenenergie abhängt, wird
ein Elektronenstrahl 21 von einer ersten Elektrode 22 zunächst zu einer Mittelelektrode
23 mittels der Spannung + U₂ stark beschleunigt und dann zu einer dritten Elektrode
24 hin mittels der Spannung - U₂ wieder gebremst. Ein Fenster 25 wird hier vorzugsweise
in Strahlrichtung nach der Öffnung der Mittelelektrode 23 eingebracht, so daß nur
sehr geringe Verluste auftreten.
[0025] Der Vorteil eines solchen Fensters ergibt sich durch den vollkommenen Vakuumabschluß
des Gehäuses 2. Die Lebenszeit des Elektronenstrahlerzeugungssystems 3 wird wesentlich
verlängert.
[0026] Im Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 5 weist das evakuierte Gehäuse 2 der Elektronenstrahlkanone
1 an der Stelle des Elektronenstrahlaustrittes eine aus mehreren Kanälen 26 aufgebaute
Platte 27 auf. Vorzugsweise werden sogenannte micro-channel-plates verwendet, mit
Kanälen mit einem Durchmesser von 10 bis 20 Mikrometer. Diese Kanäle 26 schirmen das
evakuierte Gehäuse 2 gegen den aussen anliegenden Normaldruck ab. Gleichzeitig ergeben
die Kanäle 26 die Auflösungselemente der Vorrichtung zum bildmäßigen Beschreiben.
Die erreichbare Auflösung hängt in diesem Fall vom Abstand zwischen der Platte 27
und der Oberfläche der Druckform 9 ab, da der Ladungsstrom wegen der geringen Reichweite
der Elektronen bei Normaldruck nicht mehr geometrisch gesteuert werden kann.
[0027] Als besonders vorteilhaft erweist sich in diesem Ausführungsbeispiel der Effekt der
Ladungsvermehrung in den Kanälen 26. Die energiereichen Elektronen erzeugen nämlich
durch Stöße mit den Gasmolekülen in den Kanälen 26 und mit der Kanalwand sekundäre
Ladungsträger, die zu einem stark erhöhten Ladungsträgerstrom auf der Oberfläche der
Druckform 9 führen.
[0028] Als Variante zu diesem Ausführungsbeispiel ergibt sich die Möglichkeit, jeden einzelnen
Kanal 26 oben, unten oder in der Mitte durch Lenardfenster zu verschließen. Solche
Anordnungen sind mittels Ätzverfahren leicht herstellbar.
[0029] Eine sspezielle Auswahl des Mediums in den Kanälen ergibt eine bis zu 20-fache Ladungsträgerverstärkung.
[0030] Das durch die erfindungsgemäße Vorrichtung erzeugte Ladungsbild auf der Druckform
7 ist auch für die dem Ladungsbild entsprechende Aufnahme von geladenen Tonerpartikeln
geeignet.
1. Vorrichtung zum bildmäßigen Beschreiben und Löschen durch Polarisation bzw. Depolarisation
einer mit ferroelektrischem Material beschichteten Druckform und einer zur Depolarisation
bzw. Umpolarisation der Druckform zugeordneten Löschvorrichtung, dadurch gekennzeichnet,
daß ein in Vakuum geführter Elektronenstrahl (12)einer Elektronenstrahlkanone (1),
die mittels einer Informationsübertragungseinheit (32) ansteuerbar ist, unmittelbar
auf die Druckform (9) gerichtet ist, um vorgegebene Stellen der Druckform (9) zu polarisieren.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektronenstrahlkanone
(1) einen Abbildungsraum (17) aufweist, für dessen Abdichtung gegen Normaldruck eine
Vakuumschleuse vorgesehen ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Abdichtung des Abbildungsraumes
17 Gleitdichtungen vorgesehen sind.
4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Abdichtung des Abbildungsraumes
(17) Ferrofluide (18) Verwendung finden.
5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das evakuierte Gehäuse (2)
der Elektronenstrahlkanone (1) ein vakuumdichtes Fenster (25) aufweist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das evakuierte Gehäuse (2)
der Elektronenstrahlkanone (1) durch eine aus mehreren Kanälen (26) aufgebaute Platte
(27) abschließbar ist.
7. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß im Bereich über einem Auftreffpunkt
(30) des Elektronenstrahls (12) auf der Druckform (9) eine Elektronendetektorvorrichtung
(29) zur Aufnahme der von der Druckform (9) ausgehenden Signale in Form von Sekundärelektronen
(28) vorgesehen ist.