(19)
(11) EP 0 508 350 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
02.06.1993  Patentblatt  1993/22

(43) Veröffentlichungstag A2:
14.10.1992  Patentblatt  1992/42

(21) Anmeldenummer: 92105924.2

(22) Anmeldetag:  06.04.1992
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)5: H02M 3/156
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE FR GB LI

(30) Priorität: 08.04.1991 DE 9104200 U

(71) Anmelder: Jenoptik Jena G.m.b.H.
D-07743 Jena (DE)

(72) Erfinder:
  • Haupt, Jens, Dr.
    O-6908 Jena (DE)
  • Haupt, Kerstin, Dr.
    O-6908 Jena (DE)
  • Hornhauer, Henry
    O-6908 Jena (DE)

(74) Vertreter: Geyer, Werner, Dr.-Ing. et al
Patentanwälte GEYER & FEHNERS Perhamerstrasse 31
80687 München
80687 München (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
   
       


    (54) Schaltungsanordnung zur optimalen Stromerzeugung bei Prozessen der elektrochemisch initiierten plasmachemischen Schichterzeugung


    (57) Die Erfindung betrifft eine Schaltungsanordnung zur Stromversorgung bei Prozessen der elektrochemisch initiierten plasmachemischen Schichterzeugung. Sie findet vorzugsweise bei der plasmachemischen Umwandlung elektrochemisch vorgebildeter Schichten, z. B. auf Leichtmetallen, Anwendung. Erfindungsgemäß ist der Ausgang des stellbaren Drehstrom-Transformators (1) mit nachgeschalteter 6-Puls-Gleichrichterschaltung (2) zweifach verzweigt, wobei eine erste Brückenschaltung aus einem zu einem Spannungssensor (9) parallel geschalteten Kondensator (8) besteht, eine zweite Brückenschaltung eine Freilaufdiode (10) parallel zur Strombegrenzungsdrossel (3) und dem Bad (5) zur Prozeßdurchführung, zu dem ein Impulsanalysator (4) parallel liegt, enthält und beide Brückenschaltungen durch ein Schalterbauelement (6) getrennt sind. Zur Indikation der mit der Schaltungsanordnung gesteuerten gepulsten Plasmaentladungen ist im Bad (5) zur Prozeßdurchführung ein optoelektronischer Sensor (11) eingebracht, der wie der Impulsanalysator (4), der Spannungssensor (9) und ein Stromsensor (7) mit der Steuereinheit (12) in Verbindung steht, wobei die Steuereinheit (12) das Schalterbauelement (6) mit dem Drehstrom-Transformator (1) gezielt beeinflußt, um Impulsfrequenz und Tastverhältnis optimal einzustellen.






    Recherchenbericht