(19)
(11) EP 0 509 078 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
21.10.1992  Patentblatt  1992/43

(21) Anmeldenummer: 91919134.0

(22) Anmeldetag:  05.11.1991
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01B 7/ 28( . )
 G01B 7/ 34( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1991/002088
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1992/008946 (29.05.1992 Gazette  1992/12)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT CH DE FR GB IT LI SE

(30) Priorität: 05.11.1990 DE 19904035076

(71) Anmelder: JENOPTIK GmbH
D-07743 Jena (DE)

(72) Erfinder:
  • BARTZKE, Karlheinz
    O-6900 Jena (DE)
  • THIEMER, Rolf
    O-6900 Jena (DE)
  • MENDE, Erhard
    O-6900 Jena (DE)
  • ZIESEMANN, Manfred
    O-6902 Jena (DE)
  • FRITZSCH, Ludwig Dr.
    O-6900 Jena (DE)
  • SEYDEL, Eberhard
    O-1185 Berlin (DE)
  • HEIM, Joachim Dr.
    O-9262 Frankenberg (DE)
  • WEIHNACHT, Manfred Dr.
    O-8019 Dresden (DE)
  • HOFFMANN, Burkhard
    O-1532 Klein-Machnow (DE)

(74) Vertreter: Geyer, Werner, Dr.-Ing. 
Patentanwälte GEYER & FEHNERS Perhamerstrasse 31
D-80687 München
D-80687 München (DE)

   


(54) ANORDNUNG ZUM MESSEN LINEARER ABMESSUNGEN AUF EINER STRUKTURIERTEN OBERFLÄCHE EINES MESSOBJEKTES