(19)
(11) EP 0 514 391 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
25.11.1992  Patentblatt  1992/48

(21) Anmeldenummer: 91902197.0

(22) Anmeldetag:  22.01.1991
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 37/ 32( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1991/000056
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1991/012628 (22.08.1991 Gazette  1991/19)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT CH DE FR GB LI

(30) Priorität: 07.02.1990 DE 19904003623

(71) Anmelder: Klöckner Ionon GmbH
D-51379 Leverkusen (DE)

(72) Erfinder:
  • OPPEL, Werner
    D-5000 Köln 50 (DE)

(74) Vertreter: Bauer, Wulf, Dr. 
Bayenthalgürtel 15
W-5000 Köln 51 (Marienburg)
W-5000 Köln 51 (Marienburg) (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR STEUERUNG EINER ANLAGE ZUR PLASMABEHANDLUNG VON WERKSTÜCKEN