(19)
(11) EP 0 514 395 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
25.11.1992  Patentblatt  1992/48

(21) Anmeldenummer: 91902254.0

(22) Anmeldetag:  22.01.1991
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01C 9/ 06( . )
G01H 11/ 08( . )
G01P 15/ 09( . )
H01L 29/ 84( . )
 G01H 11/ 06( . )
G01P 15/ 08( . )
G01P 15/ 125( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE1991/000058
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1991/012497 (22.08.1991 Gazette  1991/19)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE FR GB LI

(30) Priorität: 06.02.1990 DE 19904003473

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
D-70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • MAREK, Jiri
    D-7410 Reutlingen 22 (DE)
  • WARTH, Martin
    D-7052 Schwaikheim (DE)
  • FINDLER, Guenther
    D-7000 Stuttgart 80 (DE)
  • TRAH, Hans-Peter
    D-7410 Reutlingen (DE)

   


(54) KRISTALLORIENTIERTER BEWEGUNGSSENSOR UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG