(19)

(11)

EP 0 536 362 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 14.04.1993  Patentblatt  1993/15 (21) Anmeldenummer: 92908839.0 (22) Anmeldetag:  21.04.1992

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23F 1/ 10( . ) C23F 1/ 26( . ) C23F 1/ 36( . ) C23F 1/ 20( . ) C23F 1/ 28( . ) C23F 1/ 44( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1992/000321 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1992/019792 (12.11.1992 Gazette  1992/28)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH DE FR LI NL (30) Priorität: 24.04.1991 DE 19914113283 (71) Anmelder: KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH D-76050 Karlsruhe (DE)	(72) Erfinder: STARK, Walter, Dr. W-7512 Rheinstetten-Forchheim (DE) RUPRECHT, Robert, Dr. W-7519 Walzbachtal 2 (DE) (74) Vertreter: Rückert, Friedrich, Dr.  Forschungszentrum Karlsruhe GmbH Stabsabteilung Patente und Lizenzen Weberstrasse 5 D-76133 Karlsruhe D-76133 Karlsruhe (DE)