(19)

(11)

EP 0 558 666 A1

(12)

(43) Date de publication: 08.09.1993  Bulletin  1993/36 (21) Numéro de dépôt: 92902063.0 (22) Date de dépôt:  14.11.1991

(51) Int. Cl.:  G03F 1/ 08( . ) H01L 21/ 027( . ) G03F 7/ 32( . ) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR1991/000894 (87) Numéro de publication internationale: WO 1992/009012 (29.05.1992 Gazette  1992/12)

(84) Etats contractants désignés: BE CH DE FR GB IT LI NL (30) Priorité: 20.11.1990 FR 19900014462 (71) Demandeur: SOCIETE NOUVELLE DES ETS J. VERGER & DELPORTE F-75008 Paris (FR)	(72) Inventeur: Blommé, Edouard F-78580 Maule (FR) (74) Mandataire: Thévenet, Jean-Bruno, et al  Cabinet Beau de Loménie 158, rue de l'Université F-75340 Paris Cédex 07 F-75340 Paris Cédex 07 (FR)