(19)

(11)

EP 0 567 520 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 03.11.1993  Patentblatt  1993/44 (21) Anmeldenummer: 92903128.0 (22) Anmeldetag:  14.01.1992

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01N 23/ 225( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP1992/000067 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1992/013268 (06.08.1992 Gazette  1992/21)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR GB (30) Priorität: 15.01.1991 DE 19914100980 (71) Anmelder: SPECS GESELLSCHAFT FÜR OBERFLÄCHENANALYTIK UND COMPUTERTECHNOLOGIE GmbH D-13355 Berlin (DE)	(72) Erfinder: OECHSNER, Hans D-6750 Kaiserslautern 32 (DE) MÜLLER, Karl-Heinz D-4712 Werne (DE) (74) Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys.  Aggerstrasse 24 D-50859 Köln D-50859 Köln (DE)