(19)

(11)

EP 0 598 755 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 01.06.1994  Patentblatt  1994/22 (21) Anmeldenummer: 92915971.0 (22) Anmeldetag:  20.07.1992

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/ 306( . ) H01L 33/ 00( . ) H01L 33/ 42( . ) H01L 21/ 3063( . ) H01L 33/ 34( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1992/000598 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1993/004503 (04.03.1993 Gazette  1993/06)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH DE ES FR GB IT LI NL (30) Priorität: 14.08.1991 DE 19914126955 (71) Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. D-80636 München (DE)	(72) Erfinder: RICHTER, Axel, Dr.-Ing. D-81371 München (DE) STEINER, Peter D-81925 München (DE) LANG, Walter, Dr.-Ing. D-81371 München (DE) (74) Vertreter: Schoppe, Fritz, Dipl.-Ing., et al  Patentanwalt, Georg-Kalb-Strasse 9 D-82049 Pullach D-82049 Pullach (DE)