(19)

(11)

EP 0 604 485 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 06.07.1994  Patentblatt  1994/27 (21) Anmeldenummer: 92919019.0 (22) Anmeldetag:  07.09.1992

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G05F 1/ 56( . ) H01L 21/ 822( . ) G05F 3/ 18( . ) H01L 27/ 04( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP1992/002061 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1993/006541 (01.04.1993 Gazette  1993/09)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE ES FR GB IT (30) Priorität: 19.09.1991 DE 19914131170 (71) Anmelder: DEUTSCHE THOMSON-BRANDT GMBH D-78048 Villingen-Schwenningen (DE)	(72) Erfinder: KOBLITZ, Rudolf F-38240 Meylan (DE) NUTZ, Karl, Dieter D-7101 Oedheim (DE) STEINER, Jürgen D-7112 Waldenburg (DE) (74) Vertreter: Einsel, Robert, Dipl.-Ing.  Deutsche Thomson-Brandt GmbH Patent- und Lizenzabteilung Göttinger Chaussee 76 D-30453 Hannover D-30453 Hannover (DE)