VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER INTEGRIERTEN LEISTUNGSSCHALTUNG MIT EINEM VERTIKALEN LEISTUNGSBAUELEMENT - Patent 0614573

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EP 0 614 573 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	14.09.1994 Patentblatt 1994/37

(21)	Anmeldenummer: 92923661.0

(22)	Anmeldetag: 12.11.1992

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Internationale Patentklassifikation (IPC):

H01L 21/ 762^{( . )}
H01L 27/ 088^{( . )}
H01L 29/ 06^{( . )}

H01L 21/ 764^{( . )}
H01L 29/ 78^{( . )}

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/DE1992/000955

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 1993/011561 (10.06.1993 Gazette 1993/14)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	DE FR GB IT

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Priorität:

29.11.1991 DE 19914139394
24.01.1992 DE 19924201910

(71)	Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
	D-80636 München (DE)

(72)	Erfinder:
	GASSEL, Helmut D-47057 Duisburg (DE) MÜTTERLEIN, Bernward D-47057 Duisburg (DE) VOGT, Holger D-45481 Mülheim a.d. Ruhr (DE) ZIMMER, Günther D-4100 Duisburg 29 (DE)

(74)	Vertreter: Schoppe, Fritz, Dipl.-Ing., et al
	Patentanwalt, Georg-Kalb-Strasse 9 D-82049 Pullach D-82049 Pullach (DE)

(54)	VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER INTEGRIERTEN LEISTUNGSSCHALTUNG MIT EINEM VERTIKALEN LEISTUNGSBAUELEMENT