(19)

(11)

EP 0 620 870 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 26.10.1994  Patentblatt  1994/43 (21) Anmeldenummer: 93901733.0 (22) Anmeldetag:  31.12.1992

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  B01J 19/ 08( . ) C30B 33/ 00( . ) H01J 37/ 305( . ) H01L 21/ 304( . ) B08B 7/ 00( . ) H01J 27/ 18( . ) H01L 21/ 302( . ) H01L 21/ 3065( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP1992/003015 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1993/014250 (22.07.1993 Gazette  1993/18)

(84) Benannte Vertragsstaaten: CH FR GB IT LI (30) Priorität: 08.01.1992 DE 19924200235 (71) Anmelder: HOFFMEISTER, Helmut D-48147 Münster (DE)	(72) Erfinder: ANDRÄ, Jürgen D-4400 Münster (DE) (74) Vertreter: Hoffmeister, Helmut, Dr. Dipl.-Phys.  Patentanwalt, Postbox 38 28 48021 Münster 48021 Münster (DE)