(19)
(11) EP 0 626 019 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
30.11.1994  Patentblatt  1994/48

(21) Anmeldenummer: 93922919.0

(22) Anmeldetag:  07.10.1993
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/ 24( . )
H05K 3/ 10( . )
C23C 18/ 14( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1993/002748
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1994/013854 (23.06.1994 Gazette  1994/14)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
BE CH DE FR GB IT LI NL

(30) Priorität: 11.12.1992 DE 19924241839

(71) Anmelder: Heraeus Noblelight GmbH
D-63450 Hanau (DE)

(72) Erfinder:
  • ESROM, Hilmar
    D-68535 Edingen-Neckarhausen (DE)
  • REISS, Harald
    D-69118 Heidelberg (DE)

(74) Vertreter: Kühn, Hans-Christian 
Heraeus Holding GmbH, Stabsstelle Schutzrechte, Heraeusstrasse 12-14
D-63450 Hanau
D-63450 Hanau (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON METALLISCHEN SCHICHTEN