(19)
(11)
EP 0 626 019 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
30.11.1994
Patentblatt 1994/48
(21)
Anmeldenummer:
93922919.0
(22)
Anmeldetag:
07.10.1993
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC):
C23C
14/
24
( . )
H05K
3/
10
( . )
C23C
18/
14
( . )
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1993/002748
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1994/013854
(
23.06.1994
Gazette 1994/14)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
BE CH DE FR GB IT LI NL
(30)
Priorität:
11.12.1992
DE 19924241839
(71)
Anmelder:
Heraeus Noblelight GmbH
D-63450 Hanau (DE)
(72)
Erfinder:
ESROM, Hilmar
D-68535 Edingen-Neckarhausen (DE)
REISS, Harald
D-69118 Heidelberg (DE)
(74)
Vertreter:
Kühn, Hans-Christian
Heraeus Holding GmbH, Stabsstelle Schutzrechte, Heraeusstrasse 12-14
D-63450 Hanau
D-63450 Hanau (DE)
(54)
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON METALLISCHEN SCHICHTEN