(19)

(11)

EP 0 627 097 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 07.12.1994  Patentblatt  1994/49 (21) Anmeldenummer: 93903801.0 (22) Anmeldetag:  13.02.1993

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G03F 1/ 90( . ) G03F 9/ 00( . ) G03F 5/ 00( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1993/000137 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1993/017369 (02.09.1993 Gazette  1993/21)

(84) Benannte Vertragsstaaten: BE DE FR GB IT NL (30) Priorität: 21.02.1992 DE 19924205301 (71) Anmelder: B. BACHER GmbH D-78573 Wurmlingen-Tuttlingen (DE)	(72) Erfinder: SCHWEIZER, Kurt D-7204 Wurmlingen (DE) (74) Vertreter: KOHLER SCHMID + PARTNER  Patentanwälte Ruppmannstrasse 27 D-70565 Stuttgart D-70565 Stuttgart (DE)