(19)
(11) EP 0 630 480 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
28.12.1994  Patentblatt  1994/52

(21) Anmeldenummer: 93902194.0

(22) Anmeldetag:  14.01.1993
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01R 27/ 26( . )
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP1993/000069
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 1993/018413 (16.09.1993 Gazette  1993/22)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB

(30) Priorität: 13.03.1992 DE 19924208272

(71) Anmelder: LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
D-63450 Hanau (DE)

(72) Erfinder:
  • VOSS, Günter
    D-5203 Much (DE)

(74) Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys., et al 
Aggerstrasse 24
D-50859 Köln
D-50859 Köln (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR MESSUNG DER KAPAZITÄT EINES KONDENSATORS NACH DER REFLEKTOMETERMETHODE UND SCHALTUNGSEINRICHTUNG DAZU