(19)

(11)

EP 0 630 524 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 28.12.1994  Patentblatt  1994/52 (21) Anmeldenummer: 93905173.0 (22) Anmeldetag:  09.03.1993

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 27/ 142( . ) H01L 31/ 048( . ) H01L 31/ 0224( . ) H01L 31/ 18( . ) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE1993/000217 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 1993/019491 (30.09.1993 Gazette  1993/24)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR GB (30) Priorität: 19.03.1992 DE 19924208950 (71) Anmelder: SIEMENS SOLAR GmbH D-80807 München (DE)	(72) Erfinder: van den Berg, Robert, Dr. D-81243 München (DE) (74) Vertreter: Fuchs, Franz-Josef, Dr.-Ing.  Postfach 22 13 17 D-80503 München D-80503 München (DE)