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(11) | EP 0 633 602 A3 |
| (12) | EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
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| (54) | Flugzeit-Massenspektrometer mit Gasphasen-Ionenquelle, mit hoher Empfindlichkeit und grossem dynamischem Bereich |
| (57) Eine hohe Teilchendichte im Abzugsvolumen einer Gasphasen-Ionenquelle und gleichzeitig
eine sehr geringe Teilchendichte in der Flugstrecke des Flugzeit-Massenspektrometers
bewirkt eine hohe Empfindlichkeit bei gleichzeitig hohem dynamischen Bereich der Intensitätsanzeige. Um dies zu erreichen, ist es notwendig, das Flugzeit-Massenspektrometer in zwei oder mehr Bereiche unterschiedlichen Druckes zu teilen, wobei die verschiedenen Bereiche durch eine Gas-Strömungsimpedanz getrennt sind. Eine maximale Teilchendichte im Abzugsvolumen bei gleichzeitig minimaler Teilchendichte in der Flugstrecke läßt sich erzielen, indem man die Gas-Strömungsimpedanzen(3,6) direkt in die Elektroden(1,2) der Ionenquelle integriert. |